SCINCO NXQ9000은 어떤 제품인가요?

SCINCO NXQ9000은 300mm 이상 대형 기판과 Roll to Roll 기판을 위한 1x proximity stepper입니다. full field 또는 step and repeat 노광을 지원하는 대형 기판용 노광 장비이며, 주요 사양을 표로 정리해 드리면 다음과 같습니다.

주요 사양

NXQ9000은 유연 재료, 대면적 패널 및 기판의 수동·자동 로딩을 지원하는 Roll to Roll application에 적합합니다. Proximity 노광과 contact 노광을 선택할 수 있으며, 최대 320mm 사각 기판의 1:1 전체 영역 노광이 가능합니다. 또한 레시피에 따른 사분할 alignment 및 step and repeat 노광을 통해 대형 기판 노광에서 발생할 수 있는 runout 현상과 CD 변화를 제어할 수 있습니다.

선택 시에는 적용 기판의 형태와 크기, Roll to Roll 공정 여부, full field 또는 step and repeat 노광 방식, Proximity 노광과 contact 노광 중 필요한 방식을 확인하시는 것이 좋습니다. 320mm보다 큰 기판 적용 가능 여부와 세부 공정 조건은 사용 환경에 따라 문의로 확인해 주세요.

재고·납기는 문의로 확인 가능하며, 요청 시 견적서 발행이 가능합니다.