SCINCO NXQ8000은 어떤 제품인가요?
SCINCO NXQ8000은 반도체 분야에서 다양한 기판에 적용할 수 있는 양산형 마스크 얼라이너입니다. 뛰어난 WTS 조합과 정밀한 alignment 기능을 제공하며, 주요 사양을 표로 정리해 드리면 다음과 같습니다.
주요 사양
| 제품명 | NXQ8000 series |
|---|---|
| 브랜드 | SCINCO |
| 파트넘버 | NXQ8000 |
NXQ8000은 조각시편부터 200mm 기판까지 매뉴얼 로딩으로 대응하며, 50mm~200mm 기판은 로봇 로딩으로 사용할 수 있습니다. Quadcam Microscope는 Objective마다 두 개의 고해상도 CCD 카메라를 사용해 광각과 고배율을 포커스 조절 없이 전환할 수 있습니다. Smart Align Technology 기반의 정밀 자동 얼라인먼트, 전자기 선형 모터, 사용자 친화적인 인터페이스와 매뉴얼 전환 기능을 제공합니다. 또한 실제 스테이지 위치를 측정하는 엔코더 피드백 루프를 사용해 3-sigma 0.5um 미만의 정렬 정확도를 지원합니다.
기판 로딩 방식과 적용 기판 범위, 필요한 alignment 및 exposure optics 구성을 우선 확인하시기 바랍니다. 자동 필터 전환 장치, 바코드 리더, SECS/GEM, BSA / IR alignment, Ring illumination and dark field illumination, NUV (280-350nm) / MUV (280-450) / DUV (220-280nm) exposure optics, Heated Wafer Chuck and Mask Holder, Automated mask changing은 옵션으로 제공되므로 실제 구성과 적용 가능 여부를 문의로 확인하시는 것이 좋습니다.
재고·납기는 문의로 확인 가능하며, 구매 검토에 필요한 견적서 발행도 가능합니다.