SCINCO NXQ8012는 어떤 제품인가요?

SCINCO NXQ8012는 반도체 분야에서 마스크 얼라이너와 오버레이 검사 기능을 통합한 설비입니다. 한 설비에서 정밀 정렬, 노광 및 오버레이 확인이 가능한 제품이며, 주요 사양을 표로 정리해 드리면 다음과 같습니다.

주요 사양

NXQ8012는 최대 300mm 기판에 적용 가능한 마스크 얼라이너로, 노광과 Overlay inspection을 동시에 수행할 수 있습니다. 최신 선형 모션 기술을 적용한 alignment stage와 실제 스테이지 위치를 측정하는 엔코더 피드백 루프를 사용하며, 3-sigma 0.5um 미만의 정렬 정확도를 구현할 수 있습니다.

반도체 공정에서 정렬, 노광 및 오버레이 확인을 하나의 설비로 수행해야 하는지와 적용 기판 크기를 우선 확인해 선택하시는 것이 좋습니다. 세부 적용 가능 어플리케이션과 설치 조건은 문의를 통해 확인해 주시기 바랍니다.

재고·납기는 문의로 확인 가능하며, 요청 시 견적서 발행이 가능합니다.