SCINCO NXQ4000는 어떤 제품인가요?

SCINCO NXQ4000는 반도체 분야의 R&D 및 준양산용으로 사용하는 반자동 마스크 얼라이너입니다. 조각시편부터 최대 200mm 기판까지 정밀 노광이 가능하며, 주요 사양을 표로 정리해 드리면 다음과 같습니다.

주요 사양

NXQ4000는 대학 연구실, 시제품 생산 및 소규모·다품종 생산라인에 적합한 노광 설비입니다. Soft, Hard, Vacuum contact 및 Proximity 노광을 지원하고, 회절억제 광학계를 사용한 고해상도(sub micro) 노광 기능을 제공합니다. 매뉴얼 X-Y joystick과 micrometer(theta)를 통한 정밀 스테이지 제어, 상단 마스크 로딩 방식, HD camera와 Video microscope를 활용한 다중 배율·고해상도 이미징 기능을 갖추고 있습니다. Air bearing 적용으로 별도의 정기적인 윤활 작업이 필요하지 않으며, 자동 시퀀싱을 통해 여러 사용자가 비교적 쉽게 운용할 수 있습니다.

조각시편부터 최대 200mm(8”)까지의 기판 대응 여부와 필요한 노광 방식, 정렬·이미징 조건을 우선 확인해 선택하시는 것이 좋습니다. 실제 설치 환경, 구성 및 적용 가능 여부는 사용 목적과 공정 조건에 따라 문의로 확인해 주세요.

재고 및 납기는 문의로 확인 가능하며, 상담 후 견적서 발행이 가능합니다.