Merck PlasmaFlo gas flow mixer and pressure monitor
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플라즈마 클리너용 가스 유량 혼합 및 압력 모니터 장치. 최대 2개 공정 가스의 정밀 제어 및 혼합 가능. ±2% 정확도와 CE 인증. 1~1999 mTorr 범위의 디지털 압력 표시. 230V AC 입력 지원.
브랜드: Merck Sigma
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Merck PlasmaFlo Gas Flow Mixer and Pressure Monitor
전원
- AC/DC 입력: 230 V AC
특징
- CE 인증
- 최대 2개 공정 가스의 정밀 제어 및 혼합 가능
- 챔버 압력 모니터링 기능
- Expanded 또는 Basic Plasma Cleaner와 함께 사용 가능
사양
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| 크기 (H × W × D) | 8.5 in × 10 in × 8 in |
| 중량 | 12 lb |
| 가스 입력 | Dual gas inputs |
| Flowmeter 1 | 최대 49 mL/min* |
| Flowmeter 2 | 최대 104 mL/min* |
| 정확도 | ±2% |
| 압력 게이지 | Thermocouple vacuum gauge, 디지털 미터 (1–1999 mTorr) |
| 입출력 연결 | 1/4 in. Swagelok → 1/4 in. O.D. 스테인리스 호스 어댑터 |
* 최대 유량은 공정 가스 및 조정 압력에 따라 다름. Air, Ar, N₂, O₂ 등 일반 공정 가스에 대한 상관 유량표는 10 psig에서 제공되며, 기타 가스와 압력 조건에 대한 유량표도 요청 시 제공 가능.
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