
Chemical Vacuum Pump 내부식성 진공 펌프, Ulvac
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■ 펌프 내부를 내부식성 특수 표면 처리한 고급형 정밀 진공 펌프
■ 반도체 및 의약품 업계에서 사용되어지는 특수한 용매나 가스등을 사용할때 적합함
■ 공통 악세사리는 Ulvac Accessory 란 참조
■ 기타 자세한 특성은 GLD Series 참조
■ Ulvac 
| Cat. No | Model | Pumping Speed | Motor Power | 
| --- | --- | --- | --- | 
| P06-62-066 | GCD-051X | 60 L/min | 200 W | 
| P06-62-072 | GCD-136X | 162 L/min | 400 W | 
| P06-62-078 | GCD-201X | 240 L/min | 750 W | 
| Cat. No. | P06-62-066 | P06-62-072 | P06-62-078 | 
|---|---|---|---|
| Model | GCD-051X | GCD-136X | GCD-201X | 
| --- | --- | --- | --- | 
| Pumping Speed | 60 L/min | 162 L/min | 240 L/min | 
| Ultimate Pressure | 6.7 x 10-2 Pa (5 x 10-4 Torr) | ||
| Motor Power | 200 W | 400 W | 750 W | 
| Motor Speed | 1730 rpm | 1730 rpm | 1740 rpm | 
| Oil Capacity | 500 ~ 800 ml | 1000 ml | 1100 ml | 
| Inlet/Nipple | NW 25 / OD 18 mm | ||
| Outlet | NW 25 | ||
| Weight | 14.1 kg | 25.4 kg | 26.6 kg | 
| Temp. Range | 7 ~ 40℃ | ||
| Size | w166×d423×h223 mm | w170×d493×h241 mm | w170×d510×h241 mm | 
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