AS ONE Ionizing Vacuum Meter, 전리 진공계

[특징]

● 다른 측정 범위의 측정자 연결 가능 : 멀티이온게이지 채택으로 용도에 따른 측정자 선택이 가능.
● 콤팩트 : 기존 제품보다 대폭적인 소형화 달성(컨트롤러 용적 56% 절감), 세계 최소 등급
● 사용성 향상 : PC/스마트폰 연결로 셋트포인트 설정, 상태 확인 등이 가능
● 라인업의 충실화 : 아날로그 출력 사양(ST200-A), 시리얼 통신 사양(ST200-R) 외에 EtherCAT 사양(ST200-E) 추가 예정
● 세계 최초의 삼극관형 메탈 전리 진공계 (특허신청중) : 진공계에 있어서 어려운 환경에서도 긴 수명 실현
● 필라멘트 수명 알림 기능 : 필라멘트 전력 감시를 통해 필라멘트 수명 사전 통지 가능
● 광범위한 압력 측정 : 대기압에서 고진공 영역(1×10+5~1×10-5Pa) 측정 가능(옵션유닛 SWU10-R연결시)
● 정확한 대기압 측정 : 챔버 오픈을 위한 대기압 확인 가능(옵션유닛SAU연결시)

[사양]

● 외부 치수 : ST200+측정자 / 69×63×120mm, ISG1/48×70×96mm, SWU10-R+측정자/φ40×81mm, SAU+측정자/φ30×67.5mm
● 사용온도범위 : ST200-A(1050℃)
● 측정치 출력 : 출력전압 DC010VLOG 출력0.75V/1자리수
● 측정 정확도 : 1.0×10-43.0×10+0Pa : ±10% (ST200-A 단체 모드),
1.0×10-41.0×10+4Pa : ±10%
1.0×104～1.0×105Pa : ±20% (ST200-A+SWU10-R 콤비네이션 모드),
1.0×10-4～1.0×104Pa : ±10%
1.0×1043.0×105Pa:±3%F.S.(3.0×103Pa기준온도25℃) (ST200-A+SWU10-R+SAU 콤비네이션 모드)
● 전원전압 : DC2028V (리플, 노이즈 1%이하)8W 이하
● SWT-16(NW16) · SWT-25(NE25) : 전리진공계측정자
● ISG1 : 표시기
● SWU10-R : 피라니진공계(0.5c케이블포함)
● SWP-16(NW16) : 피라니 측정자
● SAU(NW16) : 대기압센서(0.5m 케이블포함)
● 디스플레이 케이블 : 5m (표시기, 본체간 케이블)
● AC 어댑터 포함