EChem Supplies EYMBTALDM ECS-Y Mini Benchtop Thermal Atomic Layer Deposition (ALD) Machine은 어떤 제품인가요?

EChem Supplies EYMBTALDM은 교대하는 자기 제한적 화학 반응으로 기판 표면에 박막을 원자층 단위로 증착하는 소형 벤치탑 Thermal Atomic Layer Deposition (ALD) 장비입니다. 제품 사양을 표로 정리해 드리면 다음과 같습니다.

주요 사양

가열된 고진공 Reaction Chamber, 여러 전구체를 공급하는 Precursor Delivery System, 정밀한 주입과 불활성 가스 퍼지를 제어하는 Pulse/Purge Valves로 구성됩니다. 고종횡비 3D 구조에 균일한 박막을 형성하고 원자 수준의 두께 제어가 필요한 연구에 적합하며, 산화물·질화물 및 기타 박막 증착에 활용됩니다. Sample은 Max. 4"로 안내됩니다.

벤치탑 장비는 한 번에 하나의 샘플을 처리하는 방식이므로 대량 롤투롤 또는 파일럿 라인용 전체 포일 코팅에는 적합성을 별도로 검토해야 합니다. Thermal ALD는 공정 사이클과 퍼지 시간에 따라 증착 시간이 길어질 수 있으며, 전구체 종류와 공정 조건에 따라 필요한 구성과 운용 조건이 달라질 수 있습니다.

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