EChem Supplies EYCTALDM ECS-Y Compact Thermal Atomic Layer Deposition (ALD) Machine (Sample: Max. 8")은 어떤 제품인가요?

EChem Supplies EYCTALDM은 교대로 주입되는 전구체의 자기 제한적 화학 반응을 이용해 기판에 원자층 단위로 박막을 증착하는 소형 벤치탑 Thermal ALD 장비입니다. 제품 사양을 표로 정리해 드리면 다음과 같습니다.

주요 사양

가열·고진공 반응 챔버, 가열 가스 라인과 MFC가 포함된 전구체 공급 시스템, 펄스·퍼지 밸브를 통해 정밀한 박막 증착을 지원합니다. 높은 피복성과 원자 수준의 두께 제어가 필요한 고종횡비 3D 구조에 적합하며, 산화물·질화물 및 기타 박막 형성에 활용할 수 있습니다.

기판 크기, 전구체 종류, 공정 조건과 처리량을 사용 목적에 맞게 확인해야 합니다. 벤치탑 장비는 한 번에 하나씩 코팅하는 방식이며, 롤 전체 포일이나 파일럿 라인에는 Spatial ALD 또는 Roll-to-Roll 시스템이 적합할 수 있습니다. ALD는 공정이 느릴 수 있고 전구체 비용과 퍼지 시간도 함께 검토해야 하므로, 필요한 공정 조건은 문의로 확인해 주세요.

재고·납기는 문의로 확인 가능하며, 요청 시 견적서 발행이 가능합니다.