EChem Supplies ESLPSCVCRH ECS-SL Programmable Spin Coater with Vacuum Chunk은 어떤 제품인가요?
EChem Supplies ESLPSCVCRH는 Vacuum Chunk과 Radiation Heating을 통합한 Programmable Spin Coater입니다. 박막 제조 과정에서 기판을 회전시키며 용매 증발과 열처리를 수행하는 제품으로, 주요 사양을 표로 정리해 드리면 다음과 같습니다.
주요 사양
| 제품명 | ECS-SL Programmable Spin Coater with Vacuum Chunk (Max. 150mm, 10000 rpm) and Radiation Heating (200°C), ESLPSCVCRH |
|---|---|
| 브랜드 | EChem Supplies |
| 파트넘버 | ESLPSCVCRH |
ECS-SL Programmable Spin Coater with Vacuum Chunk는 최대 150mm 기판을 대상으로 하며, 최대 회전 속도는 10000 rpm, Radiation Heating 온도는 200°C입니다. 통합된 진공 척으로 기판을 고정하고, 회전 중 또는 감속 직후 in-situ 용매 증발과 열처리를 수행할 수 있어 박막 제작 공정의 수동 hotplate 이동 단계를 줄이는 데 활용됩니다. Radiation Heating은 용액의 균일한 건조를 지원하여 Marangoni Effect에 따른 rippling 또는 orange-peel 결함 억제, 상분리 및 결정화 제어에 도움을 줄 수 있으며, perovskites, organic electronics, sol-gels 등의 박막 공정에 적용할 수 있습니다.
선택 시에는 사용하려는 기판 크기가 최대 150mm 범위에 해당하는지, 필요한 회전 속도와 Radiation Heating 온도가 공정 조건에 맞는지 확인하시기 바랍니다. 실제 적용 전에는 기판과 용액의 호환성, 진공 고정 조건, 열처리 공정 조건을 함께 검토하는 것이 좋습니다.
재고·납기는 문의로 확인 가능하며, 요청 시 견적서 발행이 가능합니다.