EChem Supplies ESLLSPCVC ECS-SL Large Spin Coater with Vacuum Chunk (Max. 550 mm, 2000 rpm)은 어떤 제품인가요?

EChem Supplies ESLLSPCVC는 대형 기판과 웨이퍼의 박막 연구 및 반도체 공정에 사용하는 ECS-SL Large Spin Coater with Vacuum Chunk입니다. 최대 550 mm 기판과 2000 rpm 조건을 지원하는 제품 사양을 표로 정리해 드리면 다음과 같습니다.

주요 사양

대형 포맷 기판을 회전시켜 코팅하는 스핀 코터로, 패널·포토마스크·대형 웨이퍼 등의 박막 연구와 반도체 공정에 적합합니다. Vacuum Chunk를 사용하며, 대형 기판에서 발생할 수 있는 공기 흐름과 용액 증발 불균일, edge bead 및 막 두께 편차를 관리하는 대형 시스템 설계가 중요합니다.

선택 시에는 사용 기판의 크기와 형상, 필요한 회전 조건, 진공 고정 방식, 막 두께 균일성 요구사항을 확인하시기 바랍니다. 실제 적용 가능 여부와 세부 구성은 사용하려는 기판 및 공정 조건에 따라 문의로 확인하는 것이 좋습니다.

재고·납기는 문의로 확인 가능하며, 요청 시 견적서 발행이 가능합니다.