EChem Supplies EPSBSSMSCDCRF는 어떤 제품인가요?

캐시바이 AI

EChem Supplies EPSBSSMSCDCRF는 연구개발 환경에서 사용하는 탁상형 단일 소스 DC & RF Magnetron Sputtering Coater입니다. DC와 RF 전원을 통합해 다양한 재료의 박막 증착에 활용할 수 있으며, 사양을 표로 정리해 드리면 다음과 같습니다.

주요 사양

제품명ECS-PS Benchtop Single-Source DC & RF Magnetron Sputtering Coater, EPSBSSMSC, DC & RF
브랜드EChem Supplies
파트넘버EPSBSSMSCDCRF
옵션DC & RF

이 제품은 Physical Vapor Deposition(PVD) 시스템으로, 전도성 금속부터 절연성 세라믹 및 산화물까지 폭넓은 재료의 증착을 지원합니다. 옵션은 DC & RF이며, DC mode는 금속 스퍼터링용 500 W, RF mode는 비금속 스퍼터링용 300 W, 14 kHz입니다. Magnetron Sputtering Head는 2" head 1 unit이 기본이며 water cooling jackets가 적용되고, shutter로 스퍼터링 경로를 수동 개폐할 수 있습니다.

선택 시에는 증착하려는 재료에 따라 DC 또는 RF mode를 확인하고, 필요한 전원 조건과 target 규격을 검토하시기 바랍니다. 제공된 정보상 전원은 AC220V±10%, single-phases, 50/60Hz, 2000 W이며, sputtering target은 Φ2" x T1/8"입니다. 추가 magnetron head는 요청 시 공급 가능하므로 구성과 세부 조건은 문의로 확인하시기 바랍니다.

재고·납기는 문의로 확인 가능하며, 구매 검토에 필요한 견적서 발행도 가능합니다.

담당자가 채팅으로 답변드립니다 · 견적서 발행 가능