EChem Supplies EFMPUSC ECS-FM Programmable Ultrasonic Spray Coater는 어떤 제품인가요?

EChem Supplies의 EFMPUSC ECS-FM Programmable Ultrasonic Spray Coater는 초음파 에너지로 액체를 미세한 저속 미스트로 원자화하여 정밀한 박막 증착에 사용하는 장비입니다. 주요 사양을 표로 정리해 드리면 다음과 같습니다.

주요 사양

초음파 노즐의 압전 트랜스듀서가 진동해 액체를 미세 액적으로 분해하며, 저압의 Nitrogen 또는 Air를 이용해 분무 플룸을 형성하고 기판 방향으로 유도합니다. 기존 고압 공기식 스프레이 건보다 제어성과 분무 균일성이 높은 방식으로, YSZ 또는 GDC 전해질과 같은 박막·고밀도 막 형성에 활용할 수 있습니다. 최대 200*200 mm 기판에 대응하며, Programmable 방식으로 제공됩니다.

선택 시에는 적용하려는 액체와 기판 크기, 요구되는 박막 균일성 및 분무 조건을 확인하시기 바랍니다. 노즐 주파수에 따라 액적 크기가 달라질 수 있으므로 실제 공정에 적합한 조건은 별도 상담이 필요합니다. 전원은 AC220V±10%, single phase, 50/60Hz, 1500 W 사양입니다.

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