EChem Supplies EFLSPUSC Sealed Programmable Ultrasonic Spray Coater는 어떤 제품인가요?

EChem Supplies EFLSPUSC는 초음파 에너지로 액체를 미세한 저속 미스트로 원자화하여 박막을 균일하게 증착하는 Sealed Programmable Ultrasonic Spray Coater입니다. 주요 사양을 표로 정리해 드리면 다음과 같습니다.

주요 사양

압축 공기식 스프레이 건과 달리 압전 트랜스듀서의 진동으로 액체를 미세 액적으로 분해하며, 저압의 Nitrogen 또는 Air를 사용해 분사 플룸을 형성하고 기판 방향으로 유도합니다. 초음파 노즐 주파수에 따라 액적 크기가 달라지며, YSZ 또는 GDC 전해질과 같은 박막·고밀도 막 형성에 활용할 수 있습니다. 최대 300*300 mm 기판에 대응하는 제품입니다.

박막 증착 대상의 크기와 요구되는 막 균일도, 사용 용액 및 운반 가스 조건을 기준으로 선택하시기 바랍니다. 전원은 AC220V±10%, single phase, 50/60Hz, 2000 W 사양이며, 실제 적용 조건과 설치 환경은 구매 전 확인이 필요합니다.

재고·납기는 문의로 확인 가능하며, 요청 시 견적서 발행이 가능합니다.