EChem Supplies ECYELSCVCH ECS-CY Extra-Large Spin Coater with Vacuum Chunk and Heating Function은 어떤 제품인가요?

캐시바이 AI

EChem Supplies ECYELSCVCH는 대형 기판·패널·웨이퍼의 박막 연구와 반도체 공정에 사용할 수 있는 ECS-CY Extra-Large Spin Coater with Vacuum Chunk and Heating Function입니다. 최대 780 mm, 1500 rpm, 200℃ 사양을 표로 정리해 드리면 다음과 같습니다.

주요 사양

제품명ECS-CY Extra-Large Spin Coater with Vacuum Chunk and Heating Function (Max. 780 mm, 1500 rpm, 200℃), ECYELSCVCH
브랜드EChem Supplies
파트넘버ECYELSCVCH

대형 포맷 기판을 회전시켜 코팅하는 스핀 코터로, Vacuum Chunk와 Heating Function을 갖춘 제품입니다. 표준 2-inch 또는 4-inch 웨이퍼를 넘어 패널, 포토마스크 및 대형 웨이퍼 처리에 활용할 수 있으며, 대형 기판에서 발생하는 공기 흐름과 회전 관성에 대응하는 설계가 중요합니다.

대형 기판용 스핀 코터를 선택할 때는 처리 가능한 최대 크기, 회전 속도, 가열 기능, 진공 고정 방식 및 원하는 박막 균일도와의 적합성을 확인해야 합니다. 실제 적용 전에는 사용 기판과 코팅액, 공정 조건의 호환성을 문의해 확인하시기 바랍니다.

재고·납기는 문의로 확인 가능하며, 견적서 발행도 가능합니다.

담당자가 채팅으로 답변드립니다 · 견적서 발행 가능