EChem Supplies ECESSDCMSCQ ECS-C Economic Single-Source DC Magnetron Sputtering Coater, ECESSDCMSC, Quartz는 어떤 제품인가요?

EChem Supplies ECESSDCMSCQ는 Quartz 챔버 옵션의 단일 소스 DC Magnetron Sputtering Coater로, 금속 전도성 박막 증착에 사용하는 PVD 시스템입니다. 제품 사양을 표로 정리해 드리면 다음과 같습니다.

주요 사양

이 제품은 단일 재료 타깃을 사용하는 DC 스퍼터링 장비로, 배터리 연구의 current collector, seed layer, conductive contact 제작과 같은 전도성 박막 증착에 적합합니다. 금속 증착에서 DC 전원을 사용하며, RF 방식보다 높은 증착 속도와 간단한 시스템 구성을 제공하도록 설계되었습니다. Quartz 진공 챔버 옵션이 적용되며, 시료 스테이지 가열과 회전 기능을 지원합니다.

선택 시에는 증착 대상 재료가 단일 소스 DC 방식에 적합한지, Quartz 챔버 옵션이 실험 환경과 호환되는지 확인하시기 바랍니다. 전원, 시료 스테이지, 진공 포트 및 진공 펌프 조건을 설치 환경과 함께 검토해야 하며, 실시간 박막 두께 게이지는 별도 요청 사항입니다. 재고·납기와 설치 가능 여부는 문의로 확인 가능합니다.

재고·납기는 문의로 확인 가능하며 견적서 발행이 가능합니다.