Merck Tetrakis(ethylmethylamido)zirconium(IV)
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고순도(≥95%)의 Tetrakis(ethylmethylamido)zirconium(IV) 시약으로, 반도체 및 박막 증착(CVD/ALD) 공정에 활용 가능. tert-butyl methyl ether에 약 0.5 M 용해. -20°C에서 보관 필요. 낮은 인화점(4°C)을 가지며 안정적인 전구체로 사용됨.
브랜드: Merck Sigma
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Merck Tetrakis(ethylmethylamido)zirconium(IV)
Merck Sigma에서 제공하는 Tetrakis(ethylmethylamido)zirconium(IV)은 고순도의 금속 유기 전구체로, 주로 반도체 및 박막 증착(CVD/ALD) 공정에 사용됩니다. 낮은 인화점을 가지며, 안정적인 열적 특성을 제공합니다.
제품 사양
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| Solubility | ~0.5 M in tert-butyl methyl ether |
| Purity | ≥95.0% (HPLC) |
| Flash Point | 4°C |
| Storage | -20°C |
| Molecular Formula | C6H5N3 |
| Molecular Weight | 119.12 |
| CAS Number | 622-37-7 |
보관 및 취급
- -20°C 이하에서 밀봉 보관하십시오.
- 인화성이 있으므로 화기 근처에서 사용을 피하십시오.
- 취급 시 적절한 보호장비를 착용하십시오.
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