Merck Tetrakis(ethylmethylamido)zirconium(IV)

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고순도(≥95%)의 Tetrakis(ethylmethylamido)zirconium(IV) 시약으로, 반도체 및 박막 증착(CVD/ALD) 공정에 활용 가능. tert-butyl methyl ether에 약 0.5 M 용해. -20°C에서 보관 필요. 낮은 인화점(4°C)을 가지며 안정적인 전구체로 사용됨.

카탈로그번호: 725528-10G
브랜드: Merck Sigma
카테고리: Inorganic & Metal Compounds
판매단위: pk

#Merck #Sigma #Merck Sigma

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마지막 업데이트 2026. 01. 28. 오후 05:44

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Merck 725528-10G Tetrakis(ethylmethylamido)zirconium(IV), 10G pk판매 단위 pk ·

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Merck Sigma · Merck Tetrakis(ethylmethylamido)zirconium(IV)

Merck Tetrakis(ethylmethylamido)zirconium(IV)

Merck Sigma에서 제공하는 Tetrakis(ethylmethylamido)zirconium(IV)은 고순도의 금속 유기 전구체로, 주로 반도체 및 박막 증착(CVD/ALD) 공정에 사용됩니다. 낮은 인화점을 가지며, 안정적인 열적 특성을 제공합니다.

제품 사양

항목	내용
Solubility	~0.5 M in tert-butyl methyl ether
Purity	≥95.0% (HPLC)
Flash Point	4°C
Storage	-20°C
Molecular Formula	C6H5N3
Molecular Weight	119.12
CAS Number	622-37-7