AS ONE

AS ONE XY Table Mechanism Connector, XY 테이블 기구도입기

브랜드: AS ONE
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3-753-01
3-753-01 TSL-70, 각도 조절 : 없음 / 접속 플렌지 : CF 70 FH-CF 70 FT pk
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3-753-02 TSL-114, 각도 조절 : 없음 / 접속 플렌지 : CF 114 FH-CF 70 FT pk
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3-753-03 TSL-152, 각도 조절 : 없음 / 접속 플렌지 : CF 152 FH-CF 70 FT pk
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3-753-04
3-753-04 TSN-70, 각도 조절 : 있음 / 접속 플렌지 : CF 70 FH-CF 70 FT pk
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3-753-05
3-753-05 TSN-114, 각도 조절 : 있음 / 접속 플렌지 : CF 114 FH-CF 70 FT pk
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3-753-06 TSN-152, 각도 조절 : 있음 / 접속 플렌지 : CF 152 FH-CF 70 FT pk
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3-753-02 TSL-114, 각도 조절 : 없음 / 접속 플렌지 : CF 114 FH-CF 70 FT pk
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3-753-03 TSL-152, 각도 조절 : 없음 / 접속 플렌지 : CF 152 FH-CF 70 FT pk
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3-753-04 TSN-70, 각도 조절 : 있음 / 접속 플렌지 : CF 70 FH-CF 70 FT pk
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3-753-05 TSN-114, 각도 조절 : 있음 / 접속 플렌지 : CF 114 FH-CF 70 FT pk
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3-753-06 TSN-152, 각도 조절 : 있음 / 접속 플렌지 : CF 152 FH-CF 70 FT pk
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[사양]

● 동작범위：XY방향/±5mm、각도/0～5°（각도조절 있는 경우）
● 구동방식：수동
● 사용 압력범위：고진공（1×10^-6Pa）～대기압
● 헬륨 리크량：1.0×10^-9Pa・m3/s
● 베이킹 온도：150℃이하

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