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Shinetsu · Shinetsu 300mm 웨이퍼용 자동화 대응의 공장간 반송 용기.
300mm 웨이퍼용 자동화 대응의 공장간 반송 용기
산업 분야
반도체
성질·능력
최대 25장의 300mm 웨이퍼를 안전하게 운송할 수 있습니다.
용도 예
- 웨이퍼용 선적 케이스
특징
- SEMI 표준 준수
- 수동 및 로드 포트에 의한 도어 개폐 가능
- 높은 밀폐성으로 외부 파티클 및 오염 방지
- 단일 성형으로 세정·건조 시간 단축 및 치수 정밀도 유지
부품 구성
300mm 웨이퍼 반송 용기의 주요 부품 구성은 다음과 같습니다.
| Part No. | 이름 |
|---|---|
| MW 300GT-A | Body |
| MW 300G-L | Center Retaining Feature |
| MW 300GT-CS2 | Door set |
| MW 300GT-CS-B | Front Retainer |
| MW 300GT-CS-N | 벤트 필터 |
표준 사양 이미지 설명
- Front/Left Side View
- Rear/Right Side View
- Bottom View
- Side View
- Front View
- Rear View
- Door
- 벤트 필터
제품 이미지
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