
AS ONE Gas Mixer, 가스혼합기
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매스플로우 컨트롤러와 밸브, 제어 전원, 가스 믹서를 통합한 올인원 유닛. 최대 4종의 가스를 정밀 제어 및 혼합 가능. 다양한 대응가스 지원으로 실험 및 공정용에 적합. 안정적인 유량 설정과 스테인리스 재질로 내구성 우수.
브랜드: AS ONE
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특징
- 매스플로우 컨트롤러, 제어 전원, 밸브, 역지 밸브, 가스 믹서를 통합한 올인원 유닛 타입
- 2~4종의 가스를 각각 유량 제어하여 혼합 가스 공급 가능
사양
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| 대응 가스 | Air, N₂, Ar, He, H₂, CO₂, O₂ |
| 유량 제어 범위 | 각 가스 F.S. 10 SCCM ~ 50 SLM (단, 각 가스의 합계 유량이 100 SLM 이하) |
| 유량 설정 | 10회전 포텐션미터로 가변 |
| 유량 설정/출력 표시 | 스케일링 표시 |
| 설정/출력 표시 절환 | 토글 스위치 |
| IN·OUTLET 밸브 | 볼 밸브 |
| 접가스부 재질 | 스테인리스(SUS316), PTFE(4불화에틸렌수지), 불소고무 |
| 조인트 | 1/4 in. SWL 상당 |
| 외부 리크 | 5×10⁻⁷ Pa·m³/sec He |
| 입력 전원 | AC 100V |
| 사용 환경 | 온도 5~50℃ (정도보증 범위: 15~35℃), 습도 30~80% (결로 없음) |
| 부속품 | AC 케이블 (2m) |
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