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[특징]
● 터보 분자 펌프와 다이어프램 진동 펌프로 구성된 진공 배기 시스템입니다.
● 완전 오일 프리이고 배기 속도가 높습니다.
● 웹 서버가 내장되어 있어 브라우저에서의 원격제어나 로그의 다운로드 등이 가능합니다.
● 내장된 액세서리 포트에 2개의 진공계를 연결 가능합니다.
[사양]
● 흡기측 플런지 : DN 63 ISO-K
● 배기속도 : 90ℓ/s
● 도달압력 : 8×10-8mbar
● 작동전압 : AC110V±10%/230V±10%(해외사양 전원 변경 가능)
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