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삼흥에너지 1200℃ 3존 튜브로 가스플로 패키지 200mm×3
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1200℃ 3존 튜브로, 존별 독립 온도 제어 200mm × 3 Hot Zone, 총 600mm 석영 프로세스 튜브·Gas Flowmeter 기본 구성 가스 분위기 열처리 및 반응 실험용 MFC·BPR·진공펌프 등 옵션 구성 가능
- 카탈로그번호
- SH-CVD-xxxxxxxx (6개 옵션)
- 카테고리
- Tube Furnaces
- 판매단위
- ea
카탈로그
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삼흥에너지 1200℃ 3존 튜브로 가스플로 패키지 200mm×3 Ø250 SH-CVD-250TG200판매 단위 ea ·
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34,520,000원VAT 포함 37,972,000원
삼흥에너지 1200℃ 3존 튜브로 가스플로 패키지 200mm×3 Ø200 SH-CVD-200TG200판매 단위 ea ·
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27,200,000원VAT 포함 29,920,000원
삼흥에너지 1200℃ 3존 튜브로 가스플로 패키지 200mm×3 Ø120 SH-CVD-120TG200판매 단위 ea ·
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14,870,000원VAT 포함 16,357,000원
삼흥에너지 1200℃ 3존 튜브로 가스플로 패키지 200mm×3 Ø100 SH-CVD-100TG200판매 단위 ea ·
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13,140,000원VAT 포함 14,454,000원
삼흥에너지 1200℃ 3존 튜브로 가스플로 패키지 200mm×3 Ø80 SH-CVD-80TG200판매 단위 ea ·
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11,300,000원VAT 포함 12,430,000원
삼흥에너지 1200℃ 3존 튜브로 가스플로 패키지 200mm×3 Ø50 SH-CVD-50TG200판매 단위 ea ·
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9,625,000원VAT 포함 10,587,500원
SH Scientific · 삼흥에너지 1200℃ 3존 튜브로 가스플로 패키지 200mm×3
기본 구성 (Standard)
- 3존 튜브 전기로 본체 — 최고온도 1200℃, Hot Zone 200mm × 3(총 600mm), Kanthal A-1 발열체, K-type 센서, 이중 케이스
- 존별 독립 프로그램 컨트롤러 3개 — 존별 상이한 온도 구배 및 동일 온도 균일 운전 설정, 45 Step
- 석영 프로세스 튜브(Quartz Tube, 1200mm) 및 Gas Sealing Mask — 튜브 양단 실링
- Gas Flowmeter 1EA, Seamless SUS 316 배관 및 밸브, Connector, 압력게이지 — 가스 공급 라인 구성
이미지 구성 안내:
- ① 3존 튜브로 본체
- ② 존별 컨트롤러 3개
- ③ 석영 프로세스 튜브 및 Gas Sealing
- ④ Gas Flowmeter 및 SUS 316 배관
사진의 마커 위치는 대략적이며 모델 및 구성에 따라 다를 수 있습니다.
이미지에서 확인되는 장비 전면 제어 패널의 브랜드 표기는 SYNTHWARE입니다. 디스플레이, 버튼 및 라벨의 작은 글자는 이미지 해상도가 낮아 정확하게 판독하기 어렵습니다.
옵션 (Option)
- MFC (Mass Flow Controller) — 가스 종류별 질량 기준 정밀 유량 투입
- BPR (Back Pressure Regulator) — 튜브 내부 양압 유지, 무산소 분위기 조성 및 튜브 파손 방지
- Safety Cover — 반응가스 응축, 화상 및 튜브 파손 방지
- 가스 수분제거 Column — 투입 가스의 수분 제거
- 디지털 진공메타
- 추가 가스 모듈(1pc)
별도 구성 (패키지 미포함)
- 실링마스크 냉각용 칠러 — 장시간 고온 운전 시 실링부 냉각
- 진공펌프 — 감압 및 퍼지 운전이 필요한 경우
- Moving Frame — 노체 이동 구조물
위 항목은 패키지에 포함되지 않습니다. 필요한 구성을 선택하면 퍼니스와 함께 셋업할 수 있으며, 온도·가스 유량·진공을 통합 제어하는 구성도 지원합니다.
모델별 사양
| 사양 | SH-FU-50LTG-3-WG | SH-FU-80LTG-3-WG | SH-FU-100LTG-3-WG | SH-FU-120LTG-3-WG |
|---|---|---|---|---|
| Furnace | SH-FU-50LTG-3 | SH-FU-80LTG-3 | SH-FU-100LTG-3 | SH-FU-120LTG-3 |
| 최고온도 | 1200℃ (2192℉) | 1200℃ (2192℉) | 1200℃ (2192℉) | 1200℃ (2192℉) |
| 온도 컨트롤러 | Programmable Controller × 3 | Programmable Controller × 3 | Programmable Controller × 3 | Programmable Controller × 3 |
| 센서 | K type | K type | K type | K type |
| 적용 튜브경 | 50 Φ | 80 Φ | 100 Φ | 120 Φ |
| 히터 용량 | 1.15kW × 3zone = 3.45kW | 1.8kW × 3zone = 5.4kW | 2.0kW × 3zone = 6.0kW | 2.3kW × 3zone = 6.9kW |
| Hot Zone | 200mm × 3 Zone (Length 600mm) | 200mm × 3 Zone (Length 600mm) | 200mm × 3 Zone (Length 600mm) | 200mm × 3 Zone (Length 600mm) |
| 외형 치수(W×D×H) | 850×370×540mm | 850×400×570mm | 850×430×600mm | 850×460×660mm |
| 중량 | 52kg | 56kg | 68kg | 105kg |
| 발열체 | Kanthal A-1 | Kanthal A-1 | Kanthal A-1 | Kanthal A-1 |
| 전원 | 220V, 50/60Hz, 1Φ | 220V, 50/60Hz, 1Φ | 220V, 50/60Hz, 1Φ | 220V, 50/60Hz, 1Φ |
| 전류 | 15A | 23.5A | 26A | 30A |
| 구성품 | Gas Flowmeter 1EA · Stainless Steel Pipe & Connector · Gas Sealing Mask · Quartz Tube(Length 1200mm) | Gas Flowmeter 1EA · Stainless Steel Pipe & Connector · Gas Sealing Mask · Quartz Tube(Length 1200mm) | Gas Flowmeter 1EA · Stainless Steel Pipe & Connector · Gas Sealing Mask · Quartz Tube(Length 1200mm) | Gas Flowmeter 1EA · Stainless Steel Pipe & Connector · Gas Sealing Mask · Quartz Tube(Length 1200mm) |
사용 온도 안내
실사용 온도는 스펙상 최고온도보다 150℃ 낮게 설정하는 것을 권장합니다.
퍼니스를 정격 최고온도에서 상시 운전하면 목표 온도에 도달하더라도 열선(발열체)과 내화재(단열재)가 빠르게 소모되거나 손상될 수 있습니다. 열선과 내화재는 소모품입니다.
- 정격 최고온도 1200℃ 기준
- 권장 상시 사용 온도: 1050℃ 이하
구성 및 견적 안내
옵션과 별도 구성 항목의 선택에 따라 사양과 총액이 달라질 수 있습니다. 동일 모델이라도 최종 구성에 따라 사양이 달라질 수 있습니다.
구매 및 국내 A/S는 이머전트(Emergent co)에서 지원합니다. 필요한 온도, 가스 유량, 진공 조건을 남겨주시면 적합한 구성과 견적으로 안내드립니다.
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