Wafer Handling Vacuum Tweezer 웨이퍼용 진공 트위져, 진공발생기 일체형
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웨이퍼 및 마스크 핸들링용 진공 트위저로 크린룸 Class 1 대응. 4~12인치 웨이퍼 대응 PEEK 팁 적용. 배터리팩 포함 충전식 진공 발생기 일체형. 고온(최대 250℃) 웨이퍼 이동 가능 옵션 팁 제공.
브랜드: LK Labkorea
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Wafer Handling Vacuum Tweezer
웨이퍼, 마스크, 미디어 핸들링에 적합한 진공 트위저로, 크린룸 Class 1 환경에 대응하며 내부 공기 필터 및 배기 필터가 장착되어 있습니다.
4, 6, 8, 12 inch Wafer Tip(PEEK) 적용 제품으로, 9.6V 배터리 팩, 트랜스포머, 어댑터가 포함된 충전식 진공 트위저입니다.
Virtual Industries, Inc.의 Porta-Wand® ElITE, 7300 Series 제품군입니다.
주요 특징
- 웨이퍼, 마스크, 미디어 핸들링용
- 크린룸 Class 1 대응 (내부/배기 필터 장착)
- 4~12 inch PEEK Wafer Tip 적용
- 충전식 진공 발생기 일체형 (9.6V Battery pack 포함)
- Vacuum 사용 시 Indicator Light 장착
Porta-Wand® ElITE, 7300 Series
| Cat. No | Model | Description |
|---|---|---|
| T20-82-460 | 7300AR-MW4 | 4” Wafer 용 Vacuum Tweezer |
| T20-82-470 | 7300AR-MW6 | 6” Wafer 용 Vacuum Tweezer |
| T20-82-480 | 7300AR-MW8 | 8” Wafer 용 Vacuum Tweezer |
| T20-82-490 | 7300AR-MW12 | 12” Wafer 용 Vacuum Tweezer |
Porta-Wand® ElITE, 7000 Series
| Cat. No | Model | Description |
|---|---|---|
| T20-82-660 | 7000AR-MW4 | 4” Wafer 용 Vacuum Tweezer |
| T20-82-670 | 7000AR-MW6 | 6” Wafer 용 Vacuum Tweezer |
| T20-82-680 | 7000AR-MW8 | 8” Wafer 용 Vacuum Tweezer |
| T20-82-690 | 7000AR-MW12 | 12” Wafer 용 Vacuum Tweezer |
상세 사양
| 항목 | MW4 | MW6 | MW8 | MW12 |
|---|---|---|---|---|
| Cat. No (7300 Series) | T20-82-460 | T20-82-470 | T20-82-480 | T20-82-490 |
| Cat. No (7000 Series) | T20-82-660 | T20-82-670 | T20-82-680 | T20-82-690 |
| Wafer Size | 4”(100 mm) | 6”(150 mm) | 8”(200 mm) | 12”(300 mm) |
| Wafer Tip (Vacuum Zone) | 12.7×35.5 mm | 33×35.5 mm | 35.5×53 mm | Φ127 mm |
| 전원 | 220 V |
Spare Wafer Tip (PEEK)
| Cat. No | Model | Description |
|---|---|---|
| T20-82-750 | VMWT-A | 4”(100 mm) Wafer Tip |
| T20-82-760 | VMWT-B | 6”(150 mm) Wafer Tip |
| T20-82-770 | VMWT-C | 8”(200 mm) Wafer Tip |
| T20-82-830 | VWT-5AR | 12”(300 mm) Wafer Tip |
Optional Wafer Tip (Hard Coated Aluminum)
| Cat. No | Model | Description |
|---|---|---|
| T20-82-860 | 100075 | 4”(100 mm) Wafer Tip |
| T20-82-866 | 170110 | 6”(150 mm) Wafer Tip |
| T20-82-872 | 250125 | 8”(200 mm) Wafer Tip |
Max. 250℃까지 고온의 Wafer 또는 Solar Cell 이동 시 사용 가능
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