Merck Tris(diethylamido)(tert-butylimido)tantalum(V)

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Merck의 Tris(diethylamido)(tert-butylimido)tantalum(V)는 고순도 탄탈럼 전구체로, 반도체 및 박막 증착 연구에 적합합니다. 안정적인 화학 구조로 균일한 증착 특성을 제공하며, 정밀한 실험 환경에 최적화되어 있습니다.

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마지막 업데이트 2026. 01. 28. 오후 05:43

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Merck 668990-10G Tris(diethylamido)(tert-butylimido)tantalum(V), 10G pk판매 단위 pk ·

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Tris(diethylamido)(tert-butylimido)tantalum(V)는 탄탈럼 기반 화합물로, CVD 및 ALD 공정용 전구체로 사용됩니다. 높은 순도와 안정성을 제공하여 정밀한 박막 형성 및 연구용 응용에 적합합니다.

항목	내용
Solubility	5.0 μm particle size, L × I.D. 3 cm × 2.1 mm

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