AS ONE Temp-Plate for Vacuum (Irreversibility·3 Points Display) (430V Series), 진공용 템프플레이트(비가역성·3점 표시)
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[특징]
● 물·가스·약품등의 영향을 받지 않고 온도 측정을 할 수 있습니다.
● 통상의 온도계를 사용할 수 없는 복잡한 기구의 내부나 회전체, 진공장치의 내부에 있는 물체 등에도 사용할 수 있습니다.
● 플라스마 분위기 대책으로서 캡톤 필름으로 커버되어 있습니다.
● 라벨의 끝 단으로부터 시온 엘리먼트까지 1㎜이므로, 웨이퍼·엣지의 온도를 측정할 수 있습니다.
● 이면 인쇄이므로 진공중에서의 인쇄 잉크 비산을 막아, 아웃 가스를 억제합니다.
[사양]
● 표시:3점 표시
● 정밀도:±1%(100℃이하±1℃)
● 반응속도:1초(수중, 완만한 열구배)
● 사이즈:8㎜×3㎜
● 시온사이즈:φ1.5㎜
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