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| 3-5064-01 | - | 3-5064-01 C1005, 전유량-가스 종류：10SCCM-Air pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5064-02 | - | 3-5064-02 C1005, 전유량-가스 종류：10SCCM-N2 pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5064-03 | - | 3-5064-03 C1005, 전유량-가스 종류：10SCCM-Ar pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5064-04 | - | 3-5064-04 C1005, 전유량-가스 종류：10SCCM-He pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5064-05 | - | 3-5064-05 C1005, 전유량-가스 종류：10SCCM-H2 pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5065-01 | - | 3-5065-01 C1005, 전유량-가스 종류：20SCCM-Air pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
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| 3-5065-03 | - | 3-5065-03 C1005, 전유량-가스 종류：20SCCM-Ar pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5065-04 | - | 3-5065-04 C1005, 전유량-가스 종류：20SCCM-He pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5065-05 | - | 3-5065-05 C1005, 전유량-가스 종류：20SCCM-H2 pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5066-01 | - | 3-5066-01 C1005, 전유량-가스 종류：50SCCM-Air pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
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| 3-5068-01 | - | 3-5068-01 C1005, 전유량-가스 종류：200SCCM-Air pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5068-02 | - | 3-5068-02 C1005, 전유량-가스 종류：200SCCM-Air pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5068-03 | - | 3-5068-03 C1005, 전유량-가스 종류：200SCCM-Air pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5068-04 | - | 3-5068-04 C1005, 전유량-가스 종류：200SCCM-Air pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5068-05 | - | 3-5068-05 C1005, 전유량-가스 종류：200SCCM-Air pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5069-01 | - | 3-5069-01 C1005, 전유량-가스 종류：500SCCM-Air pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5069-02 | - | 3-5069-02 C1005, 전유량-가스 종류：500SCCM-N2 pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5069-03 | - | 3-5069-03 C1005, 전유량-가스 종류：500SCCM-Ar pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5069-04 | - | 3-5069-04 C1005, 전유량-가스 종류：500SCCM-He pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5069-05 | - | 3-5069-05 C1005, 전유량-가스 종류：500SCCM-H2 pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5070-01 | - | 3-5070-01 C1005, 전유량-가스 종류：1SLM-Air pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5070-02 | - | 3-5070-02 C1005, 전유량-가스 종류：1SLM-N2 pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5070-03 | - | 3-5070-03 C1005, 전유량-가스 종류：1SLM-Ar pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5070-04 | - | 3-5070-04 C1005, 전유량-가스 종류：1SLM-He pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5070-05 | - | 3-5070-05 C1005, 전유량-가스 종류：1SLM-H2 pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5071-01 | - | 3-5071-01 C1005, 전유량-가스 종류：2SLM-Air pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5071-02 | - | 3-5071-02 C1005, 전유량-가스 종류：2SLM-N2 pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5071-03 | - | 3-5071-03 C1005, 전유량-가스 종류：2SLM-Ar pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5071-04 | - | 3-5071-04 C1005, 전유량-가스 종류：2SLM-He pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5071-05 | - | 3-5071-05 C1005, 전유량-가스 종류：2SLM-H2 pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5072-01 | - | 3-5072-01 C1005, 전유량-가스 종류：5SLM-Air pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5072-02 | - | 3-5072-02 C1005, 전유량-가스 종류：5SLM-N2 pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5072-03 | - | 3-5072-03 C1005, 전유량-가스 종류：5SLM-Ar pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5072-04 | - | 3-5072-04 C1005, 전유량-가스 종류：5SLM-He pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5072-05 | - | 3-5072-05 C1005, 전유량-가스 종류：5SLM-H2 pk | 재고문의 | pk | 1,745,000원 | - | 1,919,500원 | |
| 3-5064-11 | - | 3-5064-11 PA01S, 품명 : 표시 설정 부속 제어 전원 (설치형) pk | 재고문의 | pk | 1,213,000원 | - | 1,334,300원 | |
| 3-5064-12 | - | 3-5064-12 PA01PS, 품명 : 표시 설정 부속 제어 전원 pk | 재고문의 | pk | 1,213,000원 | - | 1,334,300원 | |
| 3-5064-13 | - | 3-5064-13 SC01, 내용 : 신호 케이블 pk | 재고문의 | pk | 175,000원 | - | 192,500원 | |
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[특징]
● 열식 유량센서는 외부온도 영향을 잘 받지 않습니다.
● 스타트 시의 플로 서지 현상을 억제합니다.
[사양]
● 유량 정밀도 : ±2%FS(정도보증 범위 1535℃)100%FS :
● 응답성 : 6sec
● 유량제어범위 : 5
● 입출력 : 아날로그신호(05VDC)300kPa
● 펄스 형식 : N/O 노말 오픈
● 재현성 : ±0.2%FS
● 동작압력범위 : 50
● 내압 : 1MPa(G)
● 외부 리크레이트 : 1x10-7Pa·㎥/sec(He)이하
● 가스 접촉부 재질 : SUS316, PTFE, 불소고무
● 접속 : 1/4in, SWL상당
● 전원 : +15VDC±5% 60mA, -15VDC±5% 150mA
● 통신방식 : 아날로그 0~5VDC(D-Sub 9Pin 커넥터)
● 사이즈 : 127x25.5x100mm
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