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AS ONE Mass Flow Controller, 매스플로우 컨트롤러
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AS ONE

AS ONE Mass Flow Controller, 매스플로우 컨트롤러

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열식 센서로 온도 변화에 강함. 플로 서지 억제 기능으로 안정적 유량 제어. ±2%FS의 높은 정밀도와 ±0.2%FS 재현성 제공. SUS316 및 PTFE 재질로 내식성 우수. 아날로그 0~5VDC 입출력 지원.

카탈로그번호
3-50xxxxx (48개 옵션)
브랜드
AS ONE
카테고리
Other Organics
판매단위
pk
#AS ONE

카탈로그

48개 옵션
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3-5064-01 C1005, 전유량-가스 종류：10SCCM-Air pk판매 단위 pk ·
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1,703,400원VAT 포함 1,873,740원
3-5064-02 C1005, 전유량-가스 종류：10SCCM-N2 pk판매 단위 pk ·
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3-5064-03 C1005, 전유량-가스 종류：10SCCM-Ar pk판매 단위 pk ·
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3-5064-04 C1005, 전유량-가스 종류：10SCCM-He pk판매 단위 pk ·
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3-5064-05 C1005, 전유량-가스 종류：10SCCM-H2 pk판매 단위 pk ·
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3-5065-01 C1005, 전유량-가스 종류：20SCCM-Air pk판매 단위 pk ·
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3-5065-02 C1005, 전유량-가스 종류：20SCCM-N2 pk판매 단위 pk ·
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3-5066-01 C1005, 전유량-가스 종류：50SCCM-Air pk판매 단위 pk ·
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3-5066-02 C1005, 전유량-가스 종류：50SCCM-N2 pk판매 단위 pk ·
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3-5067-01 C1005, 전유량-가스 종류：100SCCM-Air pk판매 단위 pk ·
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3-5067-02 C1005, 전유량-가스 종류：100SCCM-N2 pk판매 단위 pk ·
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3-5067-05 C1005, 전유량-가스 종류：100SCCM-H2 pk판매 단위 pk ·
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3-5068-01 C1005, 전유량-가스 종류：200SCCM-Air pk판매 단위 pk ·
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3-5069-01 C1005, 전유량-가스 종류：500SCCM-Air pk판매 단위 pk ·
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3-5069-02 C1005, 전유량-가스 종류：500SCCM-N2 pk판매 단위 pk ·
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3-5070-01 C1005, 전유량-가스 종류：1SLM-Air pk판매 단위 pk ·
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3-5070-02 C1005, 전유량-가스 종류：1SLM-N2 pk판매 단위 pk ·
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3-5071-01 C1005, 전유량-가스 종류：2SLM-Air pk판매 단위 pk ·
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3-5072-01 C1005, 전유량-가스 종류：5SLM-Air pk판매 단위 pk ·
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3-5072-04 C1005, 전유량-가스 종류：5SLM-He pk판매 단위 pk ·
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3-5072-05 C1005, 전유량-가스 종류：5SLM-H2 pk판매 단위 pk ·
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3-5064-11 PA01S, 품명 : 표시 설정 부속 제어 전원 (설치형) pk판매 단위 pk ·
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1,184,200원VAT 포함 1,302,620원
3-5064-12 PA01PS, 품명 : 표시 설정 부속 제어 전원 pk판매 단위 pk ·
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1,184,200원VAT 포함 1,302,620원
3-5064-13 SC01, 내용 : 신호 케이블 pk판매 단위 pk ·
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170,400원VAT 포함 187,440원
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AS ONE · AS ONE Mass Flow Controller, 매스플로우 컨트롤러

특징

  • 열식 유량센서는 외부 온도의 영향을 거의 받지 않습니다.
  • 기기 스타트 시 발생할 수 있는 플로 서지 현상을 억제합니다.

사양

항목 사양
유량 정밀도 ±2%FS (정도보증 범위 15~35℃)
응답성 6 sec
유량 제어 범위 5~100%FS
입출력 아날로그 신호 (0~5VDC)
펄스 형식 N/O (노말 오픈)
재현성 ±0.2%FS
동작 압력 범위 50~300 kPa
내압 1 MPa(G)
외부 리크레이트 1×10⁻⁷ Pa·㎥/sec (He 이하)
가스 접촉부 재질 SUS316, PTFE, 불소고무
접속 1/4 in, SWL 상당
전원 +15VDC ±5% 60mA, -15VDC ±5% 150mA
통신 방식 아날로그 0~5VDC (D-Sub 9Pin 커넥터)
사이즈 127 × 25.5 × 100 mm

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