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[특징]
● 소구경 웨이퍼의 세척·건조 용도에 적합합니다.
● 비커 등의 용기로 간단하게 세척할 수 있는 원반 형상입니다.
[사양]
● 재질:본체/PFA(불소 수지), 전용 핸들/PTFE(4 불화에틸렌)
● 수납 가능한 최대 웨이퍼 두께 : -01 / 약 3.6mm, -02 / 약 4.3mm, -03 / 약 1.8mm,
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