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[특징]
●클린 필터에, 감압 밸브나 ON/OFF스위치, 플로우 스위치등을 모듈화한 상품입니다.
●모듈화되어 있기 때문에, 배관 공정수를 줄일 수 있어 공간이 절약되고, 간편하게 클린 에어를 얻을 수 있습니다.
●클린 룸에서 조립, 2중포장해서 출하합니다.
[사양]
●사용 유체:클린 에어, N2가스(입구 공기 조건/ISO8573-1 품질 등급 1.4.11.6.1 상당)0.4MPa
●최고 사용 압력:0.7MPa
●설정압력:0.05
●유체 접촉부:논 그리스, 실리콘 프리
●사용 유체 온도:545℃(디지털 플로우 스윗치/1535℃)
●여과도:0.01㎛(포집 효율 99.99%)
●유량 범위:5~100ℓ/min
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