Merck TETRAKIS(DIETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV), 99.9&

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고순도(99.9%) 하프늄(IV) 화합물로 반도체 및 박막 증착용 전구체로 적합함. 낮은 끓는점과 안정된 열특성으로 ALD/CVD 공정에 활용 가능. Merck Sigma 공급의 신뢰성 있는 고순도 시약.

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마지막 업데이트 2026. 01. 28. 오후 05:42

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Merck 455202-10G TETRAKIS(DIETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV), 99.9& TETRAKIS(DIETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV), 99.9& pk판매 단위 pk · CAS 19824-55-6 ·

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TETRAKIS(DIETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV), 99.9%

공급업체: Merck Sigma

TETRAKIS(DIETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV)은 고순도(99.9%)의 하프늄(IV) 화합물로, 반도체 및 박막 증착 공정(ALD, CVD)에 사용되는 전구체입니다. 안정적인 열 특성과 낮은 끓는점을 가져 정밀한 증착 공정에 적합합니다.

항목	내용
Size (크기)	1/G
Packaging UOM (포장 단위)	G
Number Of Containers Package Unit (포장 단위당 제품 수)	10G/G
Individual Container Size In Package Unit (개별 포장당 용량)	1/G
Assays (순도)	99.99%
UNSPSC (UNSPSC 분류)	12352300
Flash Point (발화점)	10 °C (closed cup)
CAS Number (CAS 번호)	19824-55-6
Boiling Point (끓는점)	130 °C / 0.01 mmHg (lit.)
Density (밀도)	1.249 g/mL at 25 °C (lit.)
Molecular Formula (분자식)	C₁₆H₄₀HfN₄
Molecular Weight (분자질량)	467.01
Merck URL (머크 페이지 주소)	Merck Sigma 제품 페이지
MSDS 링크	MSDS 보기