Merck TETRAKIS(DIETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV), 99.9&
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고순도(99.9%) 하프늄(IV) 화합물로 반도체 및 박막 증착용 전구체로 적합함. 낮은 끓는점과 안정된 열특성으로 ALD/CVD 공정에 활용 가능. Merck Sigma 공급의 신뢰성 있는 고순도 시약.
브랜드: Merck Sigma
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제품명
TETRAKIS(DIETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV), 99.9%
공급업체: Merck Sigma
제품 설명
TETRAKIS(DIETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV)은 고순도(99.9%)의 하프늄(IV) 화합물로, 반도체 및 박막 증착 공정(ALD, CVD)에 사용되는 전구체입니다. 안정적인 열 특성과 낮은 끓는점을 가져 정밀한 증착 공정에 적합합니다.
제품 스펙
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| Size (크기) | 1/G |
| Packaging UOM (포장 단위) | G |
| Number Of Containers Package Unit (포장 단위당 제품 수) | 10G/G |
| Individual Container Size In Package Unit (개별 포장당 용량) | 1/G |
| Assays (순도) | 99.99% |
| UNSPSC (UNSPSC 분류) | 12352300 |
| Flash Point (발화점) | 10 °C (closed cup) |
| CAS Number (CAS 번호) | 19824-55-6 |
| Boiling Point (끓는점) | 130 °C / 0.01 mmHg (lit.) |
| Density (밀도) | 1.249 g/mL at 25 °C (lit.) |
| Molecular Formula (분자식) | C₁₆H₄₀HfN₄ |
| Molecular Weight (분자질량) | 467.01 |
| Merck URL (머크 페이지 주소) | Merck Sigma 제품 페이지 |
| MSDS 링크 | MSDS 보기 |
추가 정보
제품 코드: 455202-10G
제품명: TETRAKIS(DIETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV), 99.9%
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