AS ONE Mass Flow Controller, 매스플로우 컨트롤러
AS ONE

AS ONE Mass Flow Controller, 매스플로우 컨트롤러

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열식 유량 센서로 고정밀 유량 제어를 지원하며 온도 보정 회로 없이 높은 정확도 제공. 플로우 서지 현상 억제 기능 포함. 다양한 기체 유량 제어에 적합하며 내압 및 누설 성능 우수. 아날로그 신호 제어 및 D-Sub9Pin 커넥터 지원.

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#AS ONE

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3-8035-01
3-8035-01 C1050-4S2-50L-Air, 유량（SLM）：50 / 가스：Air pk
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3-8035-02
3-8035-02 C1050-4S2-50L-N2, 유량（SLM）：50 / 가스：N2 pk
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3-8035-03 C1050-4S2-50L-Ar, 유량（SLM）：50 / 가스：Ar pk
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3-8035-05 C1050-4S2-50L-H2, 유량（SLM）：50 / 가스：H2 pk
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3-8035-04 C1050-4S2-50L-He, 유량（SLM）：50 / 가스：He pk
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3-8034-01
3-8034-01 C1030-4S2-30L-Air, 유량（SLM）：30 / 가스：Air pk
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3-6947-01 C1020-4S2-20L-Air, 유량（SLM）：20 / 가스：Air pk
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3-6946-04 C1020-4S2-10L-He, 유량（SLM）：10 / 가스：He pk
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3-6947-04 C1020-4S2-20L-He, 유량（SLM）：20 / 가스：He pk
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3-8034-04
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3-6946-01 C1020-4S2-10L-Air, 유량（SLM）：10 / 가스：Air pk
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3-6947-04 C1020-4S2-20L-He, 유량（SLM）：20 / 가스：He pk
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특징

  • 열식 유량 센서를 사용하여 온도 보정 회로 없이도 높은 유량 정확도를 실현
  • 스타트 시 플로우 서지 현상을 억제 (30초 이상의 인터벌 필요)

사양

항목 내용
유량 정확도 ±2% FS (정밀도 보증 범위 15~35℃)
재현성 ±0.2% FS
유량 제어 범위 5~100% FS
유체 기체
사용 온도 5~50℃, 85% RH 이하
응답 성 6 sec
동작 압력 범위 50~300 kPa
내압 1 MPa (G)
외부 누설 속도 1 × 10⁻⁷ Pa·m³/sec (He 이하)
가스 접촉부 재질 SUS316, PTFE, 불소 고무
표면 처리 가공 마무리
부속품 1/4 in. SWL 상당
입출력 아날로그 신호 (0~5 VDC)
밸브 형식 N/O (노멀 오픈)
구동 전원 +15 VDC ±5% 60 mA, -15 VDC ±5% 150 mA
통신 방식 아날로그 0~5 VDC (D-Sub9Pin 커넥터)
사이즈 160 × 33.6 × 105 mm

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