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1 / 2AS ONE Mass Flow Controller, 매스플로우 컨트롤러
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열식 유량 센서로 고정밀 유량 제어를 지원하며 온도 보정 회로 없이 높은 정확도 제공. 플로우 서지 현상 억제 기능 포함. 다양한 기체 유량 제어에 적합하며 내압 및 누설 성능 우수. 아날로그 신호 제어 및 D-Sub9Pin 커넥터 지원.
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- AS ONE
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카탈로그
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3-8035-01 C1050-4S2-50L-Air, 유량（SLM）：50 / 가스：Air pk판매 단위 pk ·
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2,260,300원VAT 포함 2,486,330원
3-8035-02 C1050-4S2-50L-N2, 유량（SLM）：50 / 가스：N2 pk판매 단위 pk ·
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3-8035-03 C1050-4S2-50L-Ar, 유량（SLM）：50 / 가스：Ar pk판매 단위 pk ·
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3-8035-05 C1050-4S2-50L-H2, 유량（SLM）：50 / 가스：H2 pk판매 단위 pk ·
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3-8035-04 C1050-4S2-50L-He, 유량（SLM）：50 / 가스：He pk판매 단위 pk ·
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3-8034-01 C1030-4S2-30L-Air, 유량（SLM）：30 / 가스：Air pk판매 단위 pk ·
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3-8034-05 C1030-4S2-30L-H2, 유량（SLM）：30 / 가스：H2 pk판매 단위 pk ·
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3-8034-04 C1030-4S2-30L-He, 유량（SLM）：30 / 가스：He pk판매 단위 pk ·
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3-6946-01 C1020-4S2-10L-Air, 유량（SLM）：10 / 가스：Air pk판매 단위 pk ·
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3-6946-02 C1020-4S2-10L-N2, 유량（SLM）：10 / 가스：N2 pk판매 단위 pk ·
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3-6946-03 C1020-4S2-10L-Ar, 유량（SLM）：10 / 가스：Ar pk판매 단위 pk ·
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3-6946-05 C1020-4S2-10L-H2, 유량（SLM）：10 / 가스：H2 pk판매 단위 pk ·
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3-6947-01 C1020-4S2-20L-Air, 유량（SLM）：20 / 가스：Air pk판매 단위 pk ·
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3-6947-02 C1020-4S2-20L-N2, 유량（SLM）：20 / 가스：N2 pk판매 단위 pk ·
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3-6947-03 C1020-4S2-20L-Ar, 유량（SLM）：20 / 가스：Ar pk판매 단위 pk ·
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3-6947-05 C1020-4S2-20L-H2, 유량（SLM）：20 / 가스：H2 pk판매 단위 pk ·
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3-6946-04 C1020-4S2-10L-He, 유량（SLM）：10 / 가스：He pk판매 단위 pk ·
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3-6947-04 C1020-4S2-20L-He, 유량（SLM）：20 / 가스：He pk판매 단위 pk ·
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AS ONE · AS ONE Mass Flow Controller, 매스플로우 컨트롤러
특징
- 열식 유량 센서를 사용하여 온도 보정 회로 없이도 높은 유량 정확도를 실현
- 스타트 시 플로우 서지 현상을 억제 (30초 이상의 인터벌 필요)
사양
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| 유량 정확도 | ±2% FS (정밀도 보증 범위 15~35℃) |
| 재현성 | ±0.2% FS |
| 유량 제어 범위 | 5~100% FS |
| 유체 | 기체 |
| 사용 온도 | 5~50℃, 85% RH 이하 |
| 응답 성 | 6 sec |
| 동작 압력 범위 | 50~300 kPa |
| 내압 | 1 MPa (G) |
| 외부 누설 속도 | 1 × 10⁻⁷ Pa·m³/sec (He 이하) |
| 가스 접촉부 재질 | SUS316, PTFE, 불소 고무 |
| 표면 처리 | 가공 마무리 |
| 부속품 | 1/4 in. SWL 상당 |
| 입출력 | 아날로그 신호 (0~5 VDC) |
| 밸브 형식 | N/O (노멀 오픈) |
| 구동 전원 | +15 VDC ±5% 60 mA, -15 VDC ±5% 150 mA |
| 통신 방식 | 아날로그 0~5 VDC (D-Sub9Pin 커넥터) |
| 사이즈 | 160 × 33.6 × 105 mm |
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