Merck Tetrakis(ethylmethylamido)hafnium(IV)
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고순도의 Tetrakis(ethylmethylamido)hafnium(IV)으로 ALD 및 CVD 공정에 적합. 높은 열적 안정성과 우수한 증기압 특성을 제공. Merck Sigma의 신뢰성 있는 품질로 정밀 반도체 및 박막 증착 연구에 활용 가능.
브랜드: Merck Sigma
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Merck Tetrakis(ethylmethylamido)hafnium(IV)
Merck Sigma에서 공급하는 고순도 Tetrakis(ethylmethylamido)hafnium(IV)은 반도체 및 나노소재 연구용으로 사용되는 금속 유기 화합물입니다. ALD(원자층 증착) 및 CVD(화학 기상 증착) 공정에 적합하며, 균일한 박막 형성을 지원합니다.
제품 사양
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| Solubility | 0.97 |
| Purity | 0.97 |
| Flash Point | Not applicable |
| Melting Point | 141–146 °C (lit.) |
| Molecular Formula | C₁₀H₁₇NO₃ |
| Molecular Weight | 199.25 |
| CAS Number | 99189-60-3 |
주요 특징
- 고순도 화합물로 안정적인 증착 품질 제공
- ALD 및 CVD 공정용 전구체로 최적화
- Merck Sigma의 엄격한 품질 관리 기준 충족
- 정밀 반도체 및 박막 응용 연구에 적합
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