AS ONE BERNOULLI Handling System(Horizontal Type), 비접촉식 진공 핀셋(수평 타입)
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브랜드: AS ONE
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[특징]

● BreezeTM완드는 파손 위험성이 높은 초박형 웨이퍼(50㎛)에 매우 적합한 비접촉식 웨이퍼 핸들링 툴입니다.

● 베르누이 효과에 의해 웨이퍼는 핸들링툴의 플레이트로부터 약 200㎛(0.2㎜)떨어진 위치에 고정됩니다.

● 얇은 기판 재료에 스트레스를 주지 않고 취급 할 수 있습니다.

● GaAs, GaN, InP, SiC등의 충격과 열 모두에 손상되기 쉬운 화합물 반도체 재료의 기판 취급에 최적입니다.

● 진공 핀셋으로는 핸들링이 불가능한 표면에 다수의 홀, 요철, 휘어짐이 있는 웨이퍼 또는 두꺼운 웨이퍼 등 다양한 사이즈나 형상의 웨이퍼에도 대응할 수 있습니다.

[사양]

● 수평식

● 웨이퍼핸들링시의 위치이탈방지용 핀 포함

● 핸들 : 정전기 대책 아세탈수지

● 플레이트 : 투명 ESD 폴리카보네이트

● 이탈방지핀: 정전기 대책 아세탈수지

● 트리거/레버 : SUS 316SST

● 외부접속튜브 외경(㎜) : 6.4(±0.25)

● 요구사항 : CDA 또는 N2(압력 69K410Kpa/유량 2857ℓ/min)

● 중량(㎏) : 0.28Kg

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