AS ONE BERNOULLI Handling System(Horizontal Type), 비접촉식 진공 핀셋(수평 타입)
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AS ONE BERNOULLI Handling System(Horizontal Type), 비접촉식 진공 핀셋(수평 타입)

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초박형 웨이퍼용 비접촉식 핸들링 시스템으로 파손 위험을 최소화합니다. 베르누이 효과로 웨이퍼를 0.2mm 띄워 고정하며, 다양한 재질과 형상의 웨이퍼에 대응합니다. 정전기 대책 소재 사용으로 안전하고 안정적인 취급이 가능합니다.

브랜드: AS ONE
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047-841-000-01
047-841-000-01 H2BST-8, 대응 웨이퍼 사이즈(inch) : 8 pk
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047-841-000-02
047-841-000-02 H2BST-3, 대응 웨이퍼 사이즈(inch) : 3 pk
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047-841-000-03 H2BST-4, 대응 웨이퍼 사이즈(inch) : 4 pk
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047-841-000-04
047-841-000-04 H2BST-6, 대응 웨이퍼 사이즈(inch) : 6 pk
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047-841-000-05
047-841-000-05 H2BST-12, 대응 웨이퍼 사이즈(inch) : 12 pk
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AS ONE BERNOULLI Handling System (Horizontal Type)

비접촉식 진공 핀셋 (수평 타입)

특징

  • Breeze™ 완드는 파손 위험성이 높은 초박형 웨이퍼(50㎛)에 매우 적합한 비접촉식 웨이퍼 핸들링 툴입니다.
  • 베르누이 효과에 의해 웨이퍼는 핸들링 툴의 플레이트로부터 약 200㎛(0.2㎜) 떨어진 위치에 고정됩니다.
  • 얇은 기판 재료에 스트레스를 주지 않고 안전하게 취급할 수 있습니다.
  • GaAs, GaN, InP, SiC 등 충격과 열에 손상되기 쉬운 화합물 반도체 재료의 기판 취급에 최적입니다.
  • 진공 핀셋으로는 취급이 어려운 홀, 요철, 휘어짐이 있는 웨이퍼 또는 두꺼운 웨이퍼 등 다양한 형상에도 대응합니다.

사양

항목 내용
타입 수평식
구성 웨이퍼 핸들링 시 위치이탈 방지용 핀 포함
핸들 재질 정전기 대책 아세탈수지
플레이트 재질 투명 ESD 폴리카보네이트
이탈방지 핀 재질 정전기 대책 아세탈수지
트리거/레버 재질 SUS 316SST
외부 접속 튜브 외경 6.4 mm (±0.25)
요구사항 CDA 또는 N₂ (압력 69K~410KPa / 유량 28~57ℓ/min)
중량 0.28 kg

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