AS ONE Mass Flow Controller (Economy Model), 매스플로우 컨트롤러 (이코노미 모델)
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AS ONE Mass Flow Controller (Economy Model), 매스플로우 컨트롤러 (이코노미 모델)

브랜드: AS ONE
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4-4263-01
4-4263-01 S48-32-HMT,,MFC-10SCCM-4IS-N2, 측정 가스 : N₂/ 풀 스케일 유량 : 10SCCM / 접속구경 : 1/4inchSW pk
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4-4263-02
4-4263-02 S48-32-HMT,,MFC-10SCCM-4IS-O2, 측정 가스 : O₂/ 풀 스케일 유량 : 10SCCM / 접속구경 : 1/4inchSW pk
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4-4263-03
4-4263-03 S48-32-HMT,,MFC-10SCCM-4IS-Air, 측정 가스 : Air / 풀 스케일 유량 : 10SCCM / 접속구경 : 1/4inchSW pk
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4-4263-04 S48-32-HMT,,MFC-10SCCM-4IS-H2, 측정 가스 : H₂ / 풀 스케일 유량 : 10SCCM / 접속구경 : 1/4inchSW pk
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4-4263-05 S48-32-HMT,,MFC-10SCCM-4IS-Ar, 측정 가스 : Ar / 풀 스케일 유량 : 10SCCM / 접속구경 : 1/4inchSW pk
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4-4263-06 S48-32-HMT,,MFC-10SCCM-4IS-He, 측정 가스 : He / 풀 스케일 유량 : 10SCCM / 접속구경 : 1/4inchSW pk
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4-4264-01 S48-32-HMT,,MFC-100SCCM-4IS-N2, 측정 가스 : N2 / 풀 스케일 유량 : 100SCCM / 접속구경 : 1/4inchSW pk
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4-4264-02 S48-32-HMT,,MFC-100SCCM-4IS-O2, 측정 가스 : O₂/ 풀 스케일 유량 : 100SCCM / 접속구경 : 1/4inchSW pk
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4-4264-03 S48-32-HMT,,MFC-100SCCM-4IS-Air, 측정 가스 : Air / 풀 스케일 유량 : 100SCCM / 접속구경 : 1/4inchSW pk
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4-4264-04 S48-32-HMT,,MFC-100SCCM-4IS-H2, 측정 가스 : H₂ / 풀 스케일 유량 : 100SCCM / 접속구경 : 1/4inchSW pk
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4-4264-06 S48-32-HMT,,MFC-100SCCM-4IS-He, 측정 가스 : He / 풀 스케일 유량 : 100SCCM / 접속구경 : 1/4inchSW pk
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4-4265-01 S48-32-HMT,,MFC-500SCCM-4IS-N2, 측정 가스 : N2 / 풀 스케일 유량 : 500SCCM / 접속구경 : 1/4inchSW pk
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4-4265-03 S48-32-HMT,,MFC-500SCCM-4IS-Air, 측정 가스 : Air / 풀 스케일 유량 : 500SCCM / 접속구경 : 1/4inchSW pk
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4-4270-01 S48-32-HMT,,MFC-50SLM-4IS-N2, 측정 가스 : N2 / 풀 스케일 유량 : 50SLM / 접속구경 : 1/4inchSW pk
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4-4270-04 S48-32-HMT,,MFC-50SLM-4IS-H2, 측정 가스 : H₂ / 풀 스케일 유량 : 50SLM / 접속구경 : 1/4inchSW pk
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4-4272-11 MT-51-RS232, 품명 : RS 232 시그널 케이블 (MT-SC-D9 FD-15 V-2 m) 표준 동봉 pk
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4-4272-12 MT-51-RS485, 품명 : RS 485 시그널 케이블 (MT-SC-D9 FD-15 V-2 m) 표준 동봉 pk
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4-4272-12 MT-51-RS485, 품명 : RS 485 시그널 케이블 (MT-SC-D9 FD-15 V-2 m) 표준 동봉 pk
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[특징]

● 기체의 정확한 질량 유량 제어가 가능합니다.
● 고신뢰성 열센서와 솔레노이드 밸브를 탑재하고 있습니다.
● 고속 응답으로 유량 설정값까지 2초 이내입니다.
● MT-51·RS232·RS485는 순간 시 표시 및 적산 기능을 탑재한 S48 시리즈의 제어 유닛입니다.

[사양]

● 가스 접촉부 재질 : SUS316L, 바이톤, PTFE, 자성스테인레스
● 밸브 형식 : 비통전 시 닫힘 (클로즈) : C
● 유량제어범위 : 050LM/2100% FS, 100LM/5100% FS
● 응답속도 : 050LM/1초이내,100LM/2초이내
● 유량 정밀도 : ±1.0%F.S.(15℃35℃)
● 반복 재현성 : ±0.2%F.S.(15℃35℃)
● 내압 : 1MPa (G)
● 외부 누출율 : 1×10-8Pa·m3/s(He) 이하
● 유량 설정 신호 : 0.15VDC
● 유량 출력 신호 : 0-5VDC
● 구동 전원 : DC ± 15V
● 표준 조인트 : 050LM/1/4inch Swagelok 상당 면간=127mm,
100LM·200LM/3/8inch Swagelok 상당 면간=181mm
● MS-51 부속품 : 신호 케이블(MT-SC-D9FD-15V-2m)×1개, AC 케이블(3m)×1개

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