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AS ONE Mass Flow Controller (Economy Model), 매스플로우 컨트롤러 (이코노미 모델)
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AS ONE

AS ONE Mass Flow Controller (Economy Model), 매스플로우 컨트롤러 (이코노미 모델)

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기체의 질량 유량을 정확히 제어할 수 있는 이코노미형 매스플로우 컨트롤러. 고신뢰성 열센서와 솔레노이드 밸브 탑재로 빠른 응답 속도 제공. 다양한 제어 유닛과 호환되며 ±1.0% F.S.의 높은 정밀도 유지.

카탈로그번호
4-42xxxxx (62개 옵션)
브랜드
AS ONE
카테고리
Standards
판매단위
pk
#AS ONE

카탈로그

62개 옵션
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4-4263-01 S48-32-HMT,,MFC-10SCCM-4IS-N2, 측정 가스 : N₂/ 풀 스케일 유량 : 10SCCM / 접속구경 : 1/4inchSW pk판매 단위 pk ·
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4-4272-11 MT-51-RS232, 품명 : RS 232 시그널 케이블 (MT-SC-D9 FD-15 V-2 m) 표준 동봉 pk판매 단위 pk ·
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4-4272-12 MT-51-RS485, 품명 : RS 485 시그널 케이블 (MT-SC-D9 FD-15 V-2 m) 표준 동봉 pk판매 단위 pk ·
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AS ONE · AS ONE Mass Flow Controller (Economy Model), 매스플로우 컨트롤러 (이코노미 모델)

특징

  • 기체의 정확한 질량 유량 제어 가능
  • 고신뢰성 열센서와 솔레노이드 밸브 탑재
  • 고속 응답으로 유량 설정값까지 2초 이내 도달
  • MT-51·RS232·RS485는 순간 시 표시 및 적산 기능을 탑재한 S48 시리즈 제어 유닛과 호환

사양

항목 내용
가스 접촉부 재질 SUS316L, 바이톤, PTFE, 자성스테인레스
밸브 형식 비통전 시 닫힘(클로즈) : C
유량 제어 범위 0~50LM/2~100% FS, 100LM~/5~100% FS
응답 속도 0~50LM: 1초 이내, 100LM~: 2초 이내
유량 정밀도 ±1.0% F.S. (15℃~35℃)
반복 재현성 ±0.2% F.S. (15℃~35℃)
내압 1MPa (G)
외부 누출율 1×10⁻⁸ Pa·m³/s (He) 이하
유량 설정 신호 0.1~5VDC
유량 출력 신호 0~5VDC
구동 전원 DC ±15V
표준 조인트 0~50LM: 1/4 inch Swagelok 상당 (면간=127mm)
100LM·200LM: 3/8 inch Swagelok 상당 (면간=181mm)
부속품 (MS-51) 신호 케이블(MT-SC-D9FD-15V-2m) ×1개, AC 케이블(3m) ×1개

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