Merck TETRAKIS(ETHYLMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV), &
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고순도(≥99.99%)의 TETRAKIS(ETHYLMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV) 시약으로 반도체 및 박막 증착용 전구체로 적합. 낮은 녹는점과 안정된 물리적 특성을 가지며 고품질 금속 하프늄 화합물 합성에 사용. Merck Sigma 공급 제품.
브랜드: Merck Sigma
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제품명
TETRAKIS(ETHYLMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV), &
공급업체
Merck Sigma
제품 설명
고순도 하프늄 전구체로, 반도체 공정 및 화학 증착(CVD/ALD)용으로 사용됩니다. 낮은 녹는점과 높은 순도를 가지며, 안정적인 금속 유기 화합물 합성에 적합합니다.
제품 사양
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| Size (크기) | 1 mL |
| Packaging UOM (포장 단위) | mL |
| Number Of Containers Package Unit (포장 단위당 제품 수) | 25 mL/mL |
| Individual Container Size In Package Unit (개별 포장당 용량) | 1 mL |
| Assays (순도) | ≥99.99% trace metals basis |
| UNSPSC (분류 코드) | 12352300 |
| Flash Point (발화점) | 11 °C (closed cup) |
| CAS Number (CAS 번호) | 352535-01-4 |
| Boiling Point (끓는점) | 78 °C / 0.01 mmHg (lit.) |
| Melting Point (녹는점) | < -50 °C |
| Density (밀도) | 1.324 g/mL at 25 °C (lit.) |
| Molecular Formula (분자식) | C₁₂H₃₂HfN₄ |
| Molecular Weight (분자질량) | 410.9 |
| Merck URL | 제품 페이지 바로가기 |
| MSDS 링크 | MSDS 보기 |
추가 정보
제품 코드: 553123-25ML
제품명: TETRAKIS(ETHYLMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV), &
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