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Merck TETRAKIS(ETHYLMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV), &
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Merck TETRAKIS(ETHYLMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV), &

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고순도(≥99.99%)의 TETRAKIS(ETHYLMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV) 시약으로 반도체 및 박막 증착용 전구체로 적합. 낮은 녹는점과 안정된 물리적 특성을 가지며 고품질 금속 하프늄 화합물 합성에 사용. Merck Sigma 공급 제품.

카탈로그번호
553123-25ML
CAS 번호
352535-01-4
브랜드
Merck Sigma
판매단위
pk
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마지막 업데이트 2026. 01. 28. 오후 05:37
Merck 553123-25ML TETRAKIS(ETHYLMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV), & TETRAKIS(ETHYLMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV), & pk판매 단위 pk · CAS 352535-01-4 ·
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Merck Sigma · Merck TETRAKIS(ETHYLMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV), &

제품명

TETRAKIS(ETHYLMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV), &

공급업체

Merck Sigma

제품 설명

고순도 하프늄 전구체로, 반도체 공정 및 화학 증착(CVD/ALD)용으로 사용됩니다. 낮은 녹는점과 높은 순도를 가지며, 안정적인 금속 유기 화합물 합성에 적합합니다.

제품 사양

항목 내용
Size (크기) 1 mL
Packaging UOM (포장 단위) mL
Number Of Containers Package Unit (포장 단위당 제품 수) 25 mL/mL
Individual Container Size In Package Unit (개별 포장당 용량) 1 mL
Assays (순도) ≥99.99% trace metals basis
UNSPSC (분류 코드) 12352300
Flash Point (발화점) 11 °C (closed cup)
CAS Number (CAS 번호) 352535-01-4
Boiling Point (끓는점) 78 °C / 0.01 mmHg (lit.)
Melting Point (녹는점) < -50 °C
Density (밀도) 1.324 g/mL at 25 °C (lit.)
Molecular Formula (분자식) C₁₂H₃₂HfN₄
Molecular Weight (분자질량) 410.9
Merck URL 제품 페이지 바로가기
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추가 정보

제품 코드: 553123-25ML
제품명: TETRAKIS(ETHYLMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV), &

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