삼흥에너지 1800℃ 튜브로 가스플로 패키지 300mm

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1800℃ 튜브 전기로와 300mm Hot Zone 구성 알루미나 튜브·가스 실링 플랜지·가스 유량계 포함 SP590 45 Step 프로그램 컨트롤러 적용 MFC·BPR·진공펌프 등 옵션 구성 가능

브랜드: SH Scientific
카테고리: Tube Furnaces
판매단위: ea

#SH Scientific #Ovens #Tube Furnaces

카탈로그

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카탈로그 번호 · 상품 설명출고판매가담기

삼흥에너지 1800℃ 튜브로 가스플로 패키지 300mm Ø120 SH-CVD-120TS300/18판매 단위 ea ·

재고 확인 필요재고 확인 필요

34,260,000원VAT 포함 37,686,000원

삼흥에너지 1800℃ 튜브로 가스플로 패키지 300mm Ø100 SH-CVD-100TS300/18판매 단위 ea ·

재고 확인 필요재고 확인 필요

30,780,000원VAT 포함 33,858,000원

삼흥에너지 1800℃ 튜브로 가스플로 패키지 300mm Ø80 SH-CVD-80TS300/18판매 단위 ea ·

재고 확인 필요재고 확인 필요

25,780,000원VAT 포함 28,358,000원

삼흥에너지 1800℃ 튜브로 가스플로 패키지 300mm Ø50 SH-CVD-50TS300/18판매 단위 ea ·

재고 확인 필요재고 확인 필요

22,860,000원VAT 포함 25,146,000원

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SH Scientific · 삼흥에너지 1800℃ 튜브로 가스플로 패키지 300mm

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기본 구성 (Standard)

튜브 전기로 본체 — 최고온도 1800℃, Hot Zone 300mm, MoSi₂ 발열체, B type 센서
알루미나 프로세스 튜브 — 길이 1000mm, 클램프 및 Gas Sealing Mask 포함
가스 실링 플랜지(End Cap) — 좌우 플랜지, Gas Flowmeter, SUS316 배관·밸브·압력게이지 포함
SP590 프로그램 컨트롤러 — 45 Step 승온·유지 프로그램

기본 구성 이미지의 번호는 다음과 같습니다.

① 튜브 전기로 본체
② 프로세스 튜브·클램프
③ 가스 실링 플랜지·가스라인
④ 프로그램 컨트롤러

이미지에 표시된 구성 및 텍스트:

MFC
Furnace
BPR
DAIHAN
컨트롤러 화면 표시: 5900, 5900

사진 좌우 하단의 MFC·BPR은 Alicat 통합제어 옵션 예시입니다. 마커 위치는 대략적입니다.

옵션 (Option)

MFC (Mass Flow Controller) — 가스 종류별 질량 기준 정밀 유량 투입
BPR (Back Pressure Regulator) — 튜브 내부 양압 유지, 무산소 분위기 조성 및 튜브 파손 방지
Safety Cover — 반응가스 응축, 화상 및 튜브 파손 방지
가스 수분제거 Column — 투입 가스의 수분 제거
디지털 진공메타
추가 가스 모듈 — 1pc

별도 구성 (패키지 미포함)

다음 항목은 기본 패키지에 포함되지 않습니다.

실링마스크 냉각용 칠러 — 장시간 고온 운전 시 실링부 냉각
진공펌프 — 감압·퍼지 운전이 필요한 경우
Moving Frame — 노체 이동 구조물

필요한 구성을 알려주시면 퍼니스와 함께 셋업하여 공급합니다. 온도·가스 유량·진공을 하나로 묶는 통합 제어 구성도 지원합니다.

모델별 사양

항목	SH-FU-50TS-WG	SH-FU-80TS-WG	SH-FU-100TS-WG	SH-FU-120TS-WG
Furnace	SH-FU-50TS	SH-FU-80TS	SH-FU-100TS	SH-FU-120TS
최고온도	1800℃	1800℃	1800℃	1800℃
온도 컨트롤러	Programmable Controller (SP590)	Programmable Controller (SP590)	Programmable Controller (SP590)	Programmable Controller (SP590)
센서	B type	B type	B type	B type
적용 튜브경	50Φ	80Φ	100Φ	120Φ
발열량	3.4kW	4.3kW	4.9kW	5.4kW
Hot Zone	Length 300mm	Length 300mm	Length 300mm	Length 300mm
외부 치수 (W×D×H)	690×550×980mm	690×580×1010mm	690×600×1030mm	690×640×1110mm
중량	75kg	83kg	131kg	160kg
발열체	MoSi₂ (Molybdenum Disilicide)	MoSi₂ (Molybdenum Disilicide)	MoSi₂ (Molybdenum Disilicide)	MoSi₂ (Molybdenum Disilicide)
전원	220V, 50/60Hz, 1Φ	220V, 50/60Hz, 1Φ	220V, 50/60Hz, 1Φ	220V, 50/60Hz, 1Φ
전류	14.7A	18.7A	21.3A	23.5A
기본 구성품	Gas Flowmeter 1EA, Stainless Steel Pipe & Connector, Gas Sealing Mask, Alumina Tube 1000mm	Gas Flowmeter 1EA, Stainless Steel Pipe & Connector, Gas Sealing Mask, Alumina Tube 1000mm	Gas Flowmeter 1EA, Stainless Steel Pipe & Connector, Gas Sealing Mask, Alumina Tube 1000mm	Gas Flowmeter 1EA, Stainless Steel Pipe & Connector, Gas Sealing Mask, Alumina Tube 1000mm

모델별 이미지 OCR 정보

SH-FU-50TS-WG

Power cord: 산업용
튜브경: Φ50
Gas Inlet
Gas Outlet
Furnace
Gas Flow Package
1800°C / 300mm Length Hot Zone

SH-FU-80TS-WG

Power cord: 산업용
튜브경: Φ80
CE
Gas Inlet
Gas Outlet
Furnace
Gas Flow Package
1800°C / 300mm Length Hot Zone

SH-FU-100TS-WG

Power cord: 산업용
튜브경: Φ100
Gas Inlet
Gas Outlet
Furnace
Gas Flow Package
1800°C / 300mm Length Hot Zone

SH-FU-120TS-WG

Power cord: 산업용
튜브경: Φ120
Gas Inlet
Gas Outlet
Furnace
Gas Flow Package
1800°C / 300mm Length Hot Zone

주의: 실사용 온도는 스펙상 최고온도보다 150℃ 낮게 설정하는 것을 권장합니다.

퍼니스의 스펙상 최고온도를 상시 사용 온도로 설정하지 마세요. 정격 최고온도보다 150℃ 낮은 온도를 실사용 최대치로 권장합니다. 스펙 온도를 상시 사용하면 목표 온도에 도달하더라도 열선(발열체)과 내화재(단열재)가 빠르게 소모·손상될 수 있습니다. 열선과 내화재는 소모품입니다.