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1 / 2Merck BIS(TERT-BUTYLIMINO)BIS(DIMETHYLAMINO)&
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텅스텐 전구체로 사용되는 고순도 화합물로, 97% 이상 순도와 99.99% trace metals 등급을 제공. ALD/CVD 공정용으로 적합하며, 낮은 끓는점과 안정된 물성으로 정밀 증착에 활용. Merck Sigma 공급 제품.
- CAS 번호
- 406462-43-9
- 브랜드
- Merck Sigma
- 판매단위
- pk
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Merck 577936-5G BIS(TERT-BUTYLIMINO)BIS(DIMETHYLAMINO)& BIS(TERT-BUTYLIMINO)BIS(DIMETHYLAMINO)& pk판매 단위 pk · CAS 406462-43-9
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Merck Sigma · Merck BIS(TERT-BUTYLIMINO)BIS(DIMETHYLAMINO)&
제품명
BIS(TERT-BUTYLIMINO)BIS(DIMETHYLAMINO)TUNGSTEN(VI)
공급업체
Merck Sigma
제품 설명
텅스텐 기반의 고순도 화합물로, ALD(원자층 증착) 및 CVD(화학기상증착) 공정에서 전구체로 널리 사용됩니다.
높은 순도(97%; 99.99% trace metals basis)와 안정된 물리적 특성을 지니며, 정밀 증착 공정에 적합합니다.
제품 스펙
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| Assays (순도) | 97%; 99.99% trace metals basis |
| UNSPSC (분류) | 12352300 |
| Flash Point (발화점) | 85 °C (closed cup) |
| CAS Number (CAS 번호) | 406462-43-9 |
| Boiling Point (끓는점) | 81 °C / 0.02 mmHg (lit.) |
| Density (밀도) | 1.305 g/mL at 25 °C (lit.) |
| Molecular Formula (분자식) | C₁₂H₃₀N₄W |
| Molecular Weight (분자질량) | 414.23 |
| Merck URL | Merck Sigma 제품 페이지 |
제품 코드
577936-5G
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