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2-623-11 TURBOLAB SL80H, 사이즈(㎜)：371×465×404 / 중량(kg)：16.5, 대체상품64-4283-40 pk판매 단위 pk ·
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AS ONE · AS ONE Turbo Molecular Pump System, 터보 분자펌프 시스템
AS ONE Turbo Molecular Pump System
터보 분자펌프 시스템
특징
- 완전 오일 프리 구조로 높은 배기 속도를 제공합니다.
- 웹 서버가 내장되어 있어 브라우저를 통해 로그 다운로드 등의 기능을 사용할 수 있습니다.
사양
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| 흡기 측 플랜지 | DN63 ISO-K 또는 DN63 CF |
| 배기 속도 | 65 L/s (N₂), 0.7 m³/h (다이어프램 펌프) |
| 도달 압력 | 10⁻⁷ mbar |
| 동작 전압 | 100V |
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