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1 / 2AS ONE BERNOULLI Handling System(Vertical Type), 비접촉식 진공 핀셋(수직 타입)
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초박형 웨이퍼용 비접촉식 핸들링 시스템으로 파손 위험 최소화. 베르누이 효과를 이용해 웨이퍼를 약 0.2mm 떨어진 위치에 고정. 다양한 재질 및 형상의 웨이퍼 취급 가능. 정전기 방지 소재 사용으로 안정적 작업 지원.
- 브랜드
- AS ONE
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- pk
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047-841-001-01 H2B-2, 대응 웨이퍼 사이즈(inch) : 2 pk판매 단위 pk ·
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047-841-001-04 H2B-6, 대응 웨이퍼 사이즈(inch) : 6 pk판매 단위 pk ·
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047-841-001-05 H2B-8, 대응 웨이퍼 사이즈(inch) : 8 pk판매 단위 pk ·
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AS ONE · AS ONE BERNOULLI Handling System(Vertical Type), 비접촉식 진공 핀셋(수직 타입)
AS ONE BERNOULLI Handling System (Vertical Type)
비접촉식 진공 핀셋 (수직 타입)
특징
- Breeze™ 완드는 파손 위험성이 높은 초박형 웨이퍼(두께 50㎛)에 적합한 비접촉식 웨이퍼 핸들링 툴입니다.
- 베르누이 효과에 의해 웨이퍼는 핸들링 툴의 플레이트로부터 약 200㎛(0.2㎜) 떨어진 위치에 고정됩니다.
- 얇은 기판 재료에 스트레스를 주지 않고 취급할 수 있습니다.
- GaAs, GaN, InP, SiC 등 충격과 열에 손상되기 쉬운 화합물 반도체 재료의 기판 취급에 최적입니다.
- 진공 핀셋으로는 취급이 어려운 표면에 다수의 홀, 요철, 휘어짐이 있는 웨이퍼 또는 두꺼운 웨이퍼 등 다양한 사이즈나 형상의 웨이퍼에도 대응할 수 있습니다.
사양
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| 타입 | 수직식 |
| 구성 | 웨이퍼 핸들링 시 위치 이탈 방지용 핀 포함 |
| 핸들 재질 | 정전기 대책 아세탈수지 |
| 플레이트 재질 | 투명 ESD 폴리카보네이트 |
| 이탈방지핀 재질 | 정전기 대책 아세탈수지 |
| 트리거/레버 재질 | SUS 316SST |
| 외부 접속 튜브 외경 | 6.4 mm (±0.25) |
| 요구사항 | CDA 또는 N₂ (압력 69K~410KPa / 유량 28~57 L/min) |
| 중량 | 0.28 kg |
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