AS ONE BERNOULLI Handling System(Vertical Type), 비접촉식 진공 핀셋(수직 타입)

AS ONE BERNOULLI Handling System (Vertical Type)

비접촉식 진공 핀셋 (수직 타입)

특징

• Breeze™ 완드는 파손 위험성이 높은 초박형 웨이퍼(두께 50㎛)에 적합한 비접촉식 웨이퍼 핸들링 툴입니다.
• 베르누이 효과에 의해 웨이퍼는 핸들링 툴의 플레이트로부터 약 200㎛(0.2㎜) 떨어진 위치에 고정됩니다.
• 얇은 기판 재료에 스트레스를 주지 않고 취급할 수 있습니다.
• GaAs, GaN, InP, SiC 등 충격과 열에 손상되기 쉬운 화합물 반도체 재료의 기판 취급에 최적입니다.
• 진공 핀셋으로는 취급이 어려운 표면에 다수의 홀, 요철, 휘어짐이 있는 웨이퍼 또는 두꺼운 웨이퍼 등 다양한 사이즈나 형상의 웨이퍼에도 대응할 수 있습니다.

사양