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삼흥에너지 1200℃ 튜브로 가스플로 패키지 300mm

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1200℃·300mm Hot Zone 튜브 전기로 석영 프로세스 튜브·Gas Flowmeter 기본 구성 SUS316 가스 배관·밸브·압력게이지 포함 MFC·BPR·진공펌프 등 옵션 구성 가능 튜브경 50·80·100·120Φ 모델 제공

브랜드: SH Scientific
카테고리: Tube Furnaces
판매단위: ea

#SH Scientific #Tube Furnaces #Ovens

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삼흥에너지 1200℃ 튜브로 가스플로 패키지 300mm Ø250 SH-CVD-250TG300판매 단위 ea ·

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22,970,000원VAT 포함 25,267,000원

삼흥에너지 1200℃ 튜브로 가스플로 패키지 300mm Ø200 SH-CVD-200TG300판매 단위 ea ·

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18,230,000원VAT 포함 20,053,000원

삼흥에너지 1200℃ 튜브로 가스플로 패키지 300mm Ø120 SH-CVD-120TG300판매 단위 ea ·

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11,040,000원VAT 포함 12,144,000원

삼흥에너지 1200℃ 튜브로 가스플로 패키지 300mm Ø100 SH-CVD-100TG300판매 단위 ea ·

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8,860,000원VAT 포함 9,746,000원

삼흥에너지 1200℃ 튜브로 가스플로 패키지 300mm Ø80 SH-CVD-80TG300판매 단위 ea ·

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7,260,000원VAT 포함 7,986,000원

삼흥에너지 1200℃ 튜브로 가스플로 패키지 300mm Ø50 SH-CVD-50TG300판매 단위 ea ·

재고 확인 필요재고 확인 필요

5,846,000원VAT 포함 6,430,600원

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SH Scientific · 삼흥에너지 1200℃ 튜브로 가스플로 패키지 300mm

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제품 개요

삼흥에너지 1200℃ 튜브로 가스플로 패키지 300mm는 가스 분위기 열처리 및 반응 실험을 위한 튜브 전기로 패키지입니다. 1200℃ 최고온도, 300mm Hot Zone, 석영 프로세스 튜브, Gas Flowmeter 및 SUS316 가스 공급 배관을 기본 구성으로 제공합니다.

이미지에서 확인되는 주요 표기:

Furnace
LAB TECH
Gas Flow Package
1200°C / 300mm Length Hot Zone
Gas Inlet
Gas Outlet
Power cord
튜브경: Φ50, Φ80, Φ100, Φ120

기본 구성(Standard)

튜브 전기로 본체(챔버)
- 최고온도: 1200℃
- Hot Zone: 300mm
- 발열체: Kanthal A-1
- 온도 센서: K type
석영 프로세스 튜브 및 Gas Sealing Mask
- Quartz Tube 길이: 1000mm
- 튜브 양단 실링
Gas Flowmeter
- 가스별 전용 Gas Flowmeter 1EA
- 가스 유량 확인 및 조절
가스 공급 배관
- Seamless SUS 316 배관 및 밸브
- Connector
- 압력게이지

옵션(Option)

옵션	역할 및 추가 시점
가스질량유량계 MFC Multi gas selectable · MC / MCV / MCS / MCSS	가스 종류와 유량을 질량 기준으로 정밀 제어할 때 사용합니다. 단순 유량 확인에는 기본 Gas Flowmeter로 충분합니다.
압력컨트롤러 BPR Back Pressure Regulator · BPR / BPRS / BPRSS	튜브 내부 양압을 유지하여 무산소 분위기를 조성하고 튜브 파손을 방지할 때 사용합니다.
이동식 암후드 Mobile Lab Hood SH-HD-MUP	반응가스 및 분진의 국소 배기가 필요할 때 사용합니다.
안전 덮개 Safety Cover 튜브로 양끝단 50~80Ø · 좌우 2개 1SET	반응가스 응축, 화상 및 튜브 파손을 방지할 때 사용합니다.
석영 웨이퍼 캐리어 Quartz Wafer Carrier · 2˝~8˝	웨이퍼 시료를 거치할 때 사용합니다. 웨이퍼 크기별 규격이 다릅니다.
석영 디퓨저 Quartz Gas Diffuser	가스 확산을 균일화할 때 사용합니다. 튜브경별 규격이 다릅니다.
가스 수분제거 Column Vacuum Meter · 추가 가스 모듈	투입 가스의 수분 제거, 진공도 확인 또는 가스 계통 증설이 필요할 때 사용합니다.

별도 구성(패키지 미포함)

다음 항목은 기본 패키지에 포함되지 않습니다.

실링마스크 냉각용 칠러: 장시간 고온 운전 시 실링부 냉각
진공펌프: 감압 및 퍼지 운전
Moving Frame: 노체 이동 구조물

필요한 구성을 알려주시면 퍼니스와 함께 셋업하여 공급합니다. 온도, 가스 유량 및 진공을 하나로 묶는 통합 제어 구성도 지원합니다.

모델별 사양

사양	SH-FU-50STG-WG	SH-FU-80STG-WG	SH-FU-100STG-WG	SH-FU-120STG-WG
Furnace	SH-FU-50STG	SH-FU-80STG	SH-FU-100STG	SH-FU-120STG
최고온도(Max Temp)	1200℃ (2192℉)	1200℃ (2192℉)	1200℃ (2192℉)	1200℃ (2192℉)
온도 컨트롤러(Temp Controller)	Programmable Controller	Programmable Controller	Programmable Controller	Programmable Controller
센서(Sensor)	K type	K type	K type	K type
적용 튜브경(Tube Ø)	50Φ	80Φ	100Φ	120Φ
히터 출력(Heater)	2200W	2600W	3700W	4000W
Hot Zone	Length 300mm	Length 300mm	Length 300mm	Length 300mm
외형 치수(W×D×H)	502×357×517mm	502×365×537mm	502×397×557mm	502×455×630mm
중량(Weight)	27kg	32kg	48kg	70kg
발열체(Heater Element)	Kanthal A-1	Kanthal A-1	Kanthal A-1	Kanthal A-1
전원(220V, 50/60Hz, 1Φ)	9.5A	11.3A	16.0A	17.3A
구성품(Components)	Gas Flowmeter 1EA · Stainless Steel Pipe & Connector · Gas Sealing Mask · Quartz Tube 1000mm	Gas Flowmeter 1EA · Stainless Steel Pipe & Connector · Gas Sealing Mask · Quartz Tube 1000mm	Gas Flowmeter 1EA · Stainless Steel Pipe & Connector · Gas Sealing Mask · Quartz Tube 1000mm	Gas Flowmeter 1EA · Stainless Steel Pipe & Connector · Gas Sealing Mask · Quartz Tube 1000mm