AS ONE Ionization Gauge, 전리진공계

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3극관형 메탈 전리진공계로 장수명과 높은 안정성을 제공합니다. 대기압부터 고진공 영역까지 넓은 측정 범위를 지원하며, ±10%의 정밀도로 안정된 감도를 유지합니다. 하드한 공정 환경에서도 사용 가능하며 유지비용 절감에 효과적입니다.

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3-6054-03 ST2（SWT-16）& ISG1, 측정 범위（Pa）：1×10-5～1×101 / 모드：ST2　단체 모드 pk판매 단위 pk ·

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3-6054-04 ST2（SWT-25）& ISG1, 측정 범위（Pa）：1×10-5～1×101 / 모드：ST2　단체 모드 pk판매 단위 pk ·

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3-6054-05 ST2（SWT-16+SPU）& ISG1, 측정 범위 (Pa) : 1 x 10-5 to: 1 x 104 / 모드 : ST2 + SPU 콤비네이션 모드 pk판매 단위 pk ·

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3-6054-06 ST2（SWT-25+SPU）& ISG1, 측정 범위 (Pa) : 1 x 10-5 to: 1 x 104 / 모드 : ST2 + SPU 콤비네이션 모드 pk판매 단위 pk ·

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3-6054-07 ST2（SWT-16+SPU+SAU）& ISG1, 측정 범위 (Pa): 1 x 10-5 to: 1 x 105 / Mode: ST2 + SPU + SAU 콤비네이션 모드 pk판매 단위 pk ·

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3-6054-08 ST2（SWT-25+SPU+SAU）& ISG1, 측정 범위 (Pa): 1 x 10-5 to: 1 x 105 / Mode: ST2 + SPU + SAU 콤비네이션 모드 pk판매 단위 pk ·

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항목	사양
외형 치수	ST2+측정자: 75×62×184 mm ISG1: 48×70×96 mm SPU+측정자: Φ40×133 mm SAU+측정자: Φ30×67.5 mm
사용 온도 범위	10~50℃
측정값 출력	출력 전압: DC 0~10V LOG 출력: 0.75V/1자리
측정 정밀도	1×10⁻⁴~3 Pa: ±10% 3~1×10³ Pa: ±15% 1×10³~3×10³ Pa: ±30% 1×10⁴~1×10⁵ Pa: ±3% F.S. (기준 온도 25℃, 3×10³ Pa 기준)
전원 전압	DC 24V, AC 100~240V (AC 어댑터 사용 시)

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