AS ONE Ionization Gauge, 전리진공계
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3극관형 메탈 전리진공계로 장수명과 높은 안정성을 제공합니다. 대기압부터 고진공 영역까지 넓은 측정 범위를 지원하며, ±10%의 정밀도로 안정된 감도를 유지합니다. 하드한 공정 환경에서도 사용 가능하며 유지비용 절감에 효과적입니다.
브랜드: AS ONE
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특징
- 3극관형 메탈 전리진공계로 혹독한 환경에서도 장수명 유지
- 측정 정밀도 ±10%로 감도의 안정성 향상
- 대기압부터 고진공 영역(1×10⁻⁵~1×10⁵)의 측정 가능 (SPU·SAU 동시 사용 시)
- 하이드로카본(유계) 등 하드한 프로세스 환경에서도 적응 가능
- 장수명 측정자로 런닝코스트 절감 가능
사양
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 외형 치수 | ST2+측정자: 75×62×184 mm ISG1: 48×70×96 mm SPU+측정자: Φ40×133 mm SAU+측정자: Φ30×67.5 mm |
| 사용 온도 범위 | 10~50℃ |
| 측정값 출력 | 출력 전압: DC 0~10V LOG 출력: 0.75V/1자리 |
| 측정 정밀도 | 1×10⁻⁴~3 Pa: ±10% 3~1×10³ Pa: ±15% 1×10³~3×10³ Pa: ±30% 1×10⁴~1×10⁵ Pa: ±3% F.S. (기준 온도 25℃, 3×10³ Pa 기준) |
| 전원 전압 | DC 24V, AC 100~240V (AC 어댑터 사용 시) |
타입
| 타입 | 설명 |
|---|---|
| ST2 | 전리진공계 |
| SWT-16 (NW16) | 전리 진공계 측정자 |
| ISG1 | 표시기 (AC 어댑터 포함) |
| SPU (NW16) | 피라니 진공계 (0.5m 케이블 부속) |
| SAU (NW16) | 대기압 센서 (0.5m 케이블 부속) |
| 디스플레이 케이블 | 5m (표시기·본체 간 케이블) |
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50,000원
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