AS ONE Ionization Gauge, 전리진공계
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#AS ONE

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3-6054-03
3-6054-03 ST2（SWT-16）& ISG1, 측정 범위（Pa）：1×10-5～1×101 / 모드：ST2　단체 모드 pk
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3-6054-04
3-6054-04 ST2（SWT-25）& ISG1, 측정 범위（Pa）：1×10-5～1×101 / 모드：ST2　단체 모드 pk
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3-6054-05
3-6054-05 ST2（SWT-16+SPU）& ISG1, 측정 범위 (Pa) : 1 x 10-5 to: 1 x 104 / 모드 : ST2 + SPU 콤비네이션 모드 pk
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3-6054-06
3-6054-06 ST2（SWT-25+SPU）& ISG1, 측정 범위 (Pa) : 1 x 10-5 to: 1 x 104 / 모드 : ST2 + SPU 콤비네이션 모드 pk
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3-6054-07
3-6054-07 ST2（SWT-16+SPU+SAU）& ISG1, 측정 범위 (Pa): 1 x 10-5 to: 1 x 105 / Mode: ST2 + SPU + SAU 콤비네이션 모드 pk
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3-6054-08
3-6054-08 ST2（SWT-25+SPU+SAU）& ISG1, 측정 범위 (Pa): 1 x 10-5 to: 1 x 105 / Mode: ST2 + SPU + SAU 콤비네이션 모드 pk
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3-6054-03 ST2（SWT-16）& ISG1, 측정 범위（Pa）：1×10-5～1×101 / 모드：ST2　단체 모드 pk
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3-6054-06 ST2（SWT-25+SPU）& ISG1, 측정 범위 (Pa) : 1 x 10-5 to: 1 x 104 / 모드 : ST2 + SPU 콤비네이션 모드 pk
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3-6054-07 ST2（SWT-16+SPU+SAU）& ISG1, 측정 범위 (Pa): 1 x 10-5 to: 1 x 105 / Mode: ST2 + SPU + SAU 콤비네이션 모드 pk
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3-6054-08
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3-6054-08 ST2（SWT-25+SPU+SAU）& ISG1, 측정 범위 (Pa): 1 x 10-5 to: 1 x 105 / Mode: ST2 + SPU + SAU 콤비네이션 모드 pk
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[특징]

● 3극관형 메탈 전리진공계로서 진공계로서는 혹심한 환경하에서도 장수명입니다.
● 측정 정밀도 ±10%로서, 감도의 안정성도 향상 되었습니다.
● 대기압으로부터 고진공영역（1×10-5~1×105）의 측정이 가능(SPU・SAU 동시사용의 경우)합니다.
● 하이드로 카본(유계)가 많은 분위기등 하드한 프로세스에서의 사용에도 적응하고, 장수명의 측정자이기 때문에 런닝코스트의 저감이 가능합니다.

[사양]

● 외치수 : ST2+측정자/75×62×184㎜,
ISG1/48×70×96㎜,
SPU+측정자/Φ40×133㎜,
SAU+측정자/Φ30×67.5㎜
● 사용 온도 범위 : 1050℃
● 측정값 출력 : 출력 전압/DC010V, LOG 출력/0.75V/1자리
● 측정 정밀도 : 1×10-43Pa/±10％,
31×10+3㎩/±15％,
1×10+33×10+3㎩/±30％,
1×10+41×10+5㎩/±3％F.S. 3×10+3㎩ㆍ기준 온도 25℃)
● 전원 전압 : DC24V, AC100~240V(AC 어댑터 사용 시)

[타입]

● ST2 : 전리진공계
● SWT-16(NW16): 전리 진공계 측정자
● ISG1: 표시기(AC 어댑터 포함)
● SPU(NW16) : 피라니 진공계 (0.5m 케이블 부속)
● SAU(NW16) : 대기압 센서 (0.5m 케이블 부속)
● 디스플레이 케이블: 5m(표시기·본체간 케이블)

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