RHAWN TANTALUM TRIS(DIETHYLAMIDO)-TERT-BUTYLIMIDE
RHAWN

RHAWN TANTALUM TRIS(DIETHYLAMIDO)-TERT-BUTYLIMIDE

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고순도 탄탈륨 전구체로, 반도체 및 박막 증착 공정에 적합합니다. 99% 이상 순도로 안정적인 증착 특성을 제공합니다. 고순도 trace metals 기준(≥99.99%)을 충족하여 정밀 공정용으로 사용됩니다.

브랜드: RHAWN
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#RHAWN#Chemicals

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소모품
R127768-1ml
RHAWN R127768-1ml TANTALUM TRIS(DIETHYLAMIDO)-TERT-BUTYLIMIDE 1ml pk
CAS: 169896-41-7단위: pk
재고문의재고: -
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RHAWN TANTALUM TRIS(DIETHYLAMIDO)-TERT-BUTYLIMIDE

RHAWN사의 고순도 탄탈륨 전구체로, 반도체 및 박막 증착(CVD/ALD) 공정에 사용됩니다. 높은 순도와 안정적인 화학적 특성으로 균일한 증착 품질을 제공합니다.

제품 사양

항목 내용
Purity 99%, ≥99.99% trace metals basis
CAS 번호 169896-41-7
용량 1 mL
분자식 -
분자량 -

특징

  • 고순도(≥99.99%) trace metals 기준 충족
  • ALD/CVD 공정용 탄탈륨 전구체
  • 균일한 증착 및 안정적 열적 특성

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