AS ONE

AS ONE Wafer Hot Chuck, 웨이퍼 핫 척

브랜드: AS ONE
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4-1528-01
4-1528-01 PH201S-04, 플레이트 사이즈 : Φ4인치 / 표면처리 : 블랙 알루마이트 pk
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4-1528-02
4-1528-02 PH201K-04, 플레이트 사이즈 : Φ4인치 / 표면처리 : 금 도금 pk
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4-1528-03 PH201S-06, 플레이트 사이즈 : Φ6인치 / 표면처리 : 블랙 알루마이트 pk
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4-1528-04
4-1528-04 PH201K-06, 플레이트 사이즈 : Φ6인치 / 표면처리 : 금 도금 pk
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4-1528-03 PH201S-06, 플레이트 사이즈 : Φ6인치 / 표면처리 : 블랙 알루마이트 pk
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4-1528-04 PH201K-06, 플레이트 사이즈 : Φ6인치 / 표면처리 : 금 도금 pk
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[특징]

● 웨이퍼, 유리기판 등의 작업물을 균일하게 가열합니다.
● 작업물은 진공흡착으로 고정 가능합니다.
● 부속된 온도조절기로 정밀온도제어가 가능합니다.

[사양]

<핫 척 부>
● 척 가능 사이즈 : Φ4인치 타입/Φ2 ~ 4인치, Φ6인치 타입/Φ2 ~ 6인치
● 온도제어범위 : 실온 ~ 200℃
● 온도 정밀도 : ±1.5%
● 전기용량 : Φ4인치 타입/400W, Φ6인치 타입/900W
● 사이즈 : Φ4인치 타입/140 × 170 × 50.5㎜, Φ6인치 타입/200 × 234 × 54㎜
● 중량 : 약 3㎏
<온도조절기>
● 전원 : AC 100V 50/60㎐
● 사이즈 : 98 × 156 × 101㎜
● 중량 : 약 1.3㎏

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