| 상품 옵션 정보 | ||||||||
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| 카탈로그 번호 | CAS 번호 | 설명 | 상태 | 단위 | 판매가 | 할인가 | 가격(VAT포함) | 수량 / 장바구니 / 찜 |
| 4-1528-01 | - | 4-1528-01 PH201S-04, 플레이트 사이즈 : Φ4인치 / 표면처리 : 블랙 알루마이트 pk | 재고문의 | pk | 0원 | - | 0원 | |
| 4-1528-02 | - | 4-1528-02 PH201K-04, 플레이트 사이즈 : Φ4인치 / 표면처리 : 금 도금 pk | 재고문의 | pk | 0원 | - | 0원 | |
| 4-1528-03 | - | 4-1528-03 PH201S-06, 플레이트 사이즈 : Φ6인치 / 표면처리 : 블랙 알루마이트 pk | 재고문의 | pk | 0원 | - | 0원 | |
| 4-1528-04 | - | 4-1528-04 PH201K-06, 플레이트 사이즈 : Φ6인치 / 표면처리 : 금 도금 pk | 재고문의 | pk | 0원 | - | 0원 | |
[특징]
● 웨이퍼, 유리기판 등의 작업물을 균일하게 가열합니다.
● 작업물은 진공흡착으로 고정 가능합니다.
● 부속된 온도조절기로 정밀온도제어가 가능합니다.
[사양]
<핫 척 부>
● 척 가능 사이즈 : Φ4인치 타입/Φ2 ~ 4인치, Φ6인치 타입/Φ2 ~ 6인치
● 온도제어범위 : 실온 ~ 200℃
● 온도 정밀도 : ±1.5%
● 전기용량 : Φ4인치 타입/400W, Φ6인치 타입/900W
● 사이즈 : Φ4인치 타입/140 × 170 × 50.5㎜, Φ6인치 타입/200 × 234 × 54㎜
● 중량 : 약 3㎏
<온도조절기>
● 전원 : AC 100V 50/60㎐
● 사이즈 : 98 × 156 × 101㎜
● 중량 : 약 1.3㎏
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