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1 / 2AS ONE Wafer Hot Chuck, 웨이퍼 핫 척
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웨이퍼 및 유리기판을 균일하게 가열하는 핫 척 장비. 진공 흡착으로 작업물을 안정적으로 고정 가능. 부속 온도조절기로 정밀한 온도 제어 지원. 다양한 사이즈(Φ2~6인치) 대응. 최대 200℃까지 온도 제어 가능.
- 카탈로그번호
- 4-1528-0x (4개 옵션)
- 브랜드
- AS ONE
- 판매단위
- pk
카탈로그
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4-1528-01 PH201S-04, 플레이트 사이즈 : Φ4인치 / 표면처리 : 블랙 알루마이트 pk판매 단위 pk ·
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4-1528-02 PH201K-04, 플레이트 사이즈 : Φ4인치 / 표면처리 : 금 도금 pk판매 단위 pk ·
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4-1528-03 PH201S-06, 플레이트 사이즈 : Φ6인치 / 표면처리 : 블랙 알루마이트 pk판매 단위 pk ·
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4-1528-04 PH201K-06, 플레이트 사이즈 : Φ6인치 / 표면처리 : 금 도금 pk판매 단위 pk ·
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AS ONE · AS ONE Wafer Hot Chuck, 웨이퍼 핫 척
특징
- 웨이퍼, 유리기판 등의 작업물을 균일하게 가열합니다.
- 작업물은 진공흡착으로 고정 가능합니다.
- 부속된 온도조절기로 정밀 온도 제어가 가능합니다.
사양
핫 척 부
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 척 가능 사이즈 | Φ4인치 타입: Φ2 ~ 4인치 / Φ6인치 타입: Φ2 ~ 6인치 |
| 온도 제어 범위 | 실온 ~ 200℃ |
| 온도 정밀도 | ±1.5% |
| 전기 용량 | Φ4인치 타입: 400W / Φ6인치 타입: 900W |
| 사이즈 | Φ4인치 타입: 140 × 170 × 50.5㎜ / Φ6인치 타입: 200 × 234 × 54㎜ |
| 중량 | 약 3㎏ |
온도조절기
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 전원 | AC 100V 50/60㎐ |
| 사이즈 | 98 × 156 × 101㎜ |
| 중량 | 약 1.3㎏ |
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