AS ONE Wafer Hot Chuck, 웨이퍼 핫 척
AS ONE

AS ONE Wafer Hot Chuck, 웨이퍼 핫 척

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웨이퍼 및 유리기판을 균일하게 가열하는 핫 척 장비. 진공 흡착으로 작업물을 안정적으로 고정 가능. 부속 온도조절기로 정밀한 온도 제어 지원. 다양한 사이즈(Φ2~6인치) 대응. 최대 200℃까지 온도 제어 가능.

브랜드: AS ONE
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4-1528-01
4-1528-01 PH201S-04, 플레이트 사이즈 : Φ4인치 / 표면처리 : 블랙 알루마이트 pk
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4-1528-02
4-1528-02 PH201K-04, 플레이트 사이즈 : Φ4인치 / 표면처리 : 금 도금 pk
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4-1528-03
4-1528-03 PH201S-06, 플레이트 사이즈 : Φ6인치 / 표면처리 : 블랙 알루마이트 pk
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4-1528-04
4-1528-04 PH201K-06, 플레이트 사이즈 : Φ6인치 / 표면처리 : 금 도금 pk
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4-1528-01 PH201S-04, 플레이트 사이즈 : Φ4인치 / 표면처리 : 블랙 알루마이트 pk
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4-1528-02
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4-1528-02 PH201K-04, 플레이트 사이즈 : Φ4인치 / 표면처리 : 금 도금 pk
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4-1528-03
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4-1528-03 PH201S-06, 플레이트 사이즈 : Φ6인치 / 표면처리 : 블랙 알루마이트 pk
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4-1528-04
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4-1528-04 PH201K-06, 플레이트 사이즈 : Φ6인치 / 표면처리 : 금 도금 pk
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특징

  • 웨이퍼, 유리기판 등의 작업물을 균일하게 가열합니다.
  • 작업물은 진공흡착으로 고정 가능합니다.
  • 부속된 온도조절기로 정밀 온도 제어가 가능합니다.

사양

핫 척 부

항목 사양
척 가능 사이즈 Φ4인치 타입: Φ2 ~ 4인치 / Φ6인치 타입: Φ2 ~ 6인치
온도 제어 범위 실온 ~ 200℃
온도 정밀도 ±1.5%
전기 용량 Φ4인치 타입: 400W / Φ6인치 타입: 900W
사이즈 Φ4인치 타입: 140 × 170 × 50.5㎜ / Φ6인치 타입: 200 × 234 × 54㎜
중량 약 3㎏

온도조절기

항목 사양
전원 AC 100V 50/60㎐
사이즈 98 × 156 × 101㎜
중량 약 1.3㎏

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