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삼흥에너지 1500℃ 튜브로 가스플로 패키지 300mm

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1500℃ 튜브 전기로와 300mm Hot Zone 구성 알루미나 튜브·가스 실링·Gas Flowmeter 기본 포함 SiC 발열체와 R type 센서 적용 45 Step 프로그램 컨트롤러 지원 MFC·BPR·진공·수분 제거 등 옵션 구성 가능

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카탈로그 번호 · 상품 설명출고판매가담기

삼흥에너지 1500℃ 튜브로 가스플로 패키지 300mm Ø120 SH-CVD-120TH300판매 단위 ea ·

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19,690,000원VAT 포함 21,659,000원

삼흥에너지 1500℃ 튜브로 가스플로 패키지 300mm Ø100 SH-CVD-100TH300판매 단위 ea ·

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16,680,000원VAT 포함 18,348,000원

삼흥에너지 1500℃ 튜브로 가스플로 패키지 300mm Ø80 SH-CVD-80TH300판매 단위 ea ·

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13,510,000원VAT 포함 14,861,000원

삼흥에너지 1500℃ 튜브로 가스플로 패키지 300mm Ø50 SH-CVD-50TH300판매 단위 ea ·

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11,770,000원VAT 포함 12,947,000원

재고문의·견적요청 옵션은 실시간 상담으로 납기를 확인해 드립니다 · 연구비 카드 결제 가능

기본 구성 이미지의 구성 번호는 다음과 같습니다.

이미지에서 확인되는 텍스트는 다음과 같습니다.

이미지 좌우 하단의 MFC·BPR은 Alicat 통합제어 옵션 예시이며, 마커 위치는 대략적입니다. 기기 화면의 작은 숫자와 문자는 해상도가 낮아 정확하게 판독하기 어렵습니다.

다음 항목은 기본 패키지에 포함되지 않습니다.

필요한 구성을 알려주시면 퍼니스와 함께 셋업하여 공급합니다. 온도·가스 유량·진공을 하나로 묶는 통합 제어 구성도 지원합니다.

사양	SH-FU-50TH-WG	SH-FU-80TH-WG	SH-FU-100TH-WG	SH-FU-120TH-WG
Furnace	SH-FU-50TH	SH-FU-80TH	SH-FU-100TH	SH-FU-120TH
최고온도(Max Temp)	1500℃	1500℃	1500℃	1500℃
온도 컨트롤러(Temp Controller)	Programmable Controller	Programmable Controller	Programmable Controller	Programmable Controller
센서(Sensor)	R type	R type	R type	R type
적용 튜브경	Φ50	Φ80	Φ100	Φ120
히터(Heater)	3.3kW	5.2kW	5.2kW	6.7kW
Hot Zone	Length 300mm	Length 300mm	Length 300mm	Length 300mm
외형 치수(W×D×H)	682×487×580mm	682×517×610mm	682×547×640mm	682×570×730mm
중량(Weight)	67kg	72kg	114kg	145kg
발열체(Heater Element)	SiC(Silicon Carbide)	SiC(Silicon Carbide)	SiC(Silicon Carbide)	SiC(Silicon Carbide)
전원	220V, 50/60Hz, 1Φ	220V, 50/60Hz, 1Φ	220V, 50/60Hz, 1Φ	220V, 50/60Hz, 1Φ
전류	14.3A	22.6A	22.6A	29.1A
구성품	Gas Flowmeter 1EA · Stainless Steel Pipe & Connector · Gas Sealing Mask · Alumina Tube(Length 1000mm)	Gas Flowmeter 1EA · Stainless Steel Pipe & Connector · Gas Sealing Mask · Alumina Tube(Length 1000mm)	Gas Flowmeter 1EA · Stainless Steel Pipe & Connector · Gas Sealing Mask · Alumina Tube(Length 1000mm)	Gas Flowmeter 1EA · Stainless Steel Pipe & Connector · Gas Sealing Mask · Alumina Tube(Length 1000mm)