AS ONE Mass Flow Controller, 매스플로우 컨트롤러

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3-5559-31

3-5559-31 RP-310, 품명 : 매스플로우 컨트롤러용 전원설정 표시기 pk

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3-5559-25

3-5559-25 CC-C22-5M, 품명 : 접속 케이블(5m) pk

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3-5559-24

3-5559-24 CC-C22-3M, 품명 : 접속 케이블(3m) pk

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3-5559-23

3-5559-23 CC-C22-2M, 품명 : 접속 케이블(2m) pk

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3-5559-22

3-5559-22 CC-C22-1M, 품명 : 접속 케이블(1m) pk

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3-5559-26

3-5559-26 CC-P5, 품명 : 전원 케이블 pk

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3-5559-01

3-5559-01 MC-10RC-4SWLR4A0A0-01, 사양：6.35 ㎜SWL 상당 / 유량：10~20SCCM pk

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3-5559-31

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3-5559-31 RP-310, 품명 : 매스플로우 컨트롤러용 전원설정 표시기 pk

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3-5559-25

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3-5559-24

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3-5559-23

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3-5559-26

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3-5559-07 MC-10RC-4SWLR4A0A0-07, 사양：6.35 ㎜SWL 상당 / 유량：800~2000SCCM pk

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3-5560-09 MC-11RC-4VR2R4A0A0-09, 사양：6.35 ㎜VCR 상당 / 유량：4~10SLM pk

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3-5560-10 MC-11RC-4VR2R4A0A0-10, 사양：6.35 ㎜VCR 상당 / 유량：8~20SL pk

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3-5560-11 MC-11RC-4VR2R4A0A0-11, 사양：6.35 ㎜VCR 상당 / 유량：20~50SLM pk

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3-5561-01 MC-10RC-4RC1R4A0A0-01, 사양：6.35 ㎜RC 상당 / 유량：10~20SCCM pk

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3-5561-07

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3-5561-07 MC-10RC-4RC1R4A0A0-07, 사양：6.35 ㎜RC 상당 / 유량：800~2000SCCM pk

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3-5561-08 MC-10RC-4RC1R4A0A0-08, 사양：6.35 ㎜RC 상당 / 유량：2~5SLM pk

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3-5561-10 MC-11RC-4RC1R4A0A0-10, 사양：6.35 ㎜RC 상당 / 유량：8~20SL pk

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특징

가스 종류 및 유량을 변경할 수 있습니다 (VR 기능 탑재)

사양

항목	내용
유량 정도	±1% F.S. (정도 보상 범위 15℃~35℃)
응답 속도	1초 이내 (T98)
유량 제어 범위	2~100% F.S.
이음새	1/4 (면간 125 mm)
본체 사이즈	127.4 × 38 × 130 mm

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