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1 / 2AS ONE Turbo Molecular Vacuum Pump EvacuatIon System, 터보분자펌프 배기장치
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컴팩트한 구성으로 깨끗한 진공 환경에 적합한 터보분자펌프 배기장치. 공냉식 메인 펌프와 건식 다이어프램 보조 펌프 탑재. ISO63 흡입구 및 100V 단상 전원으로 효율적인 운용 가능.
- 브랜드
- AS ONE
- 판매단위
- pk
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3-5267-01 VPT-060, 사이즈(㎜)：340×340×355 / 중량(kg)：17 pk판매 단위 pk ·
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AS ONE · AS ONE Turbo Molecular Vacuum Pump EvacuatIon System, 터보분자펌프 배기장치
AS ONE Turbo Molecular Vacuum Pump Evacuation System
터보분자펌프 배기장치
특징
- 배이스 가대에 필요한 장비를 컴팩트하게 구성하여 깨끗한 진공 환경에 적합합니다.
사양
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| 도달 압력 | 10⁻⁵ Pa |
| 메인 펌프 | 터보 분자 펌프 (공냉식) 60 L/sec |
| 보조 펌프 | 다이어프램형 건식 진공 펌프 20 L/min |
| 소요 전기량 | 단상 100V, 0.3 kVA |
| 흡입구 | ISO63 |
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