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Merck TETRAKIS(DIMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV), >=9&
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Merck TETRAKIS(DIMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV), >=9&

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고순도(≥99.99%)의 Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV) 시약으로 반도체 및 ALD 공정용 전구체로 적합. 낮은 녹는점(26–29°C)과 안정된 밀도(1.098 g/mL) 특성을 가짐. Merck Sigma에서 제공되는 고품질 하프늄 화합물.

카탈로그번호
455199-25G
브랜드
Merck Sigma
판매단위
pk
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마지막 업데이트 2026. 01. 28. 오후 05:34
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Merck Sigma · Merck TETRAKIS(DIMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV), >=9&

제품명

TETRAKIS(DIMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV), ≥99.99%

공급업체

Merck Sigma

제품 설명

Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV)은 고순도의 하프늄 기반 화합물로, 주로 반도체 증착 공정(ALD, CVD) 등에 사용됩니다. 높은 순도와 안정된 물리적 특성으로 정밀한 박막 형성에 적합합니다.

제품 스펙

항목 내용
Size (크기) 1/G
Packaging UOM (포장 단위) G
Number Of Containers Package Unit (포장 단위당 제품 수) 25G/G
Individual Container Size In Package Unit (개별 포장당 용량) 1/G
Assays (순도) ≥99.99%
UNSPSC (UNSPSC 분류) 12352300
CAS Number (CAS 번호) 19782-68-4
Melting Point (녹는점) 26–29 °C (lit.)
Density (밀도) 1.098 g/mL at 25 °C
Molecular Formula (분자식) C₈H₂₄HfN₄
Molecular Weight (분자질량) 354.79
Merck URL (머크 페이지 주소) https://www.sigmaaldrich.com/US/en/product/ALDRICH/455199?context=product
MSDS 링크 https://www.sigmaaldrich.com/MSDS/MSDS/DisplayMSDSPage.do?country=GB&language=EN&productNumber=455199&brand=Aldrich

추가 정보

  • 제품 코드: 455199-25G
  • 고순도 하프늄 전구체로, 안정적인 열 특성과 균일한 박막 형성에 적합

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